(1) 電路類型:電感反饋式自激振蕩電路,同軸電纜輸出,匹配調(diào)諧,取功率反饋,進(jìn)行閉
(2) 工作頻率:40.68MHZ±0.05%
(3) 頻率穩(wěn)定性:<>
(4) 輸出功率:800-1200w
(5) 輸出功率穩(wěn)定性:≤0.3%
(6) 電磁場(chǎng)泄漏射強(qiáng)度:距機(jī)身30cm
電場(chǎng)強(qiáng)度E:<2v>2v><>
進(jìn)樣裝置:
(1) 輸出工作線圈內(nèi)徑25mm,3匝
(2) 炬管:三同心Fassel型,外徑20mm的石英炬管
(3) 同軸型噴霧器外徑6mm
(4) 雙筒形霧室外徑35mm
①、 等離子體流量計(jì)(100-1000)L/h ;(1.6-16L/min)
②、 輔助氣流量計(jì)(10-100)L/h ;(0.16-1.66L/min)
③、 載氣流量計(jì)(10-100)L/h ;(0.16-1.66L/min)
④、 載氣穩(wěn)壓閥(0-0.4MPa)
(1) 光電倍增管規(guī)格: R212UH
(2) 光電倍增管負(fù)高壓:200-1000V ,穩(wěn)定性<>
(3) 光電倍增管電流測(cè)量范圍:10-12 -10-4A
(4) 信號(hào)采集為V/F交換:1mV對(duì)應(yīng)100Hz
(1) 光路: Czerny- Turner
(2) 焦距: 1000mm
(3) 光柵規(guī)格:離子刻蝕全息光柵,刻線密度2400線/mm,
(4) 波長范圍:190-500nm
(5) 分辨率: ≤0.01nm
(6) 掃描波長范圍2400線/mm 掃描波長范圍:190-800nm
(7) 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)最小步距:0.0005nm
(8) 入射狹縫:20μm 出射狹縫:25μm
(9) 發(fā)射鏡規(guī)格:(105 × 105 × 16)mm
(10) 透鏡ф30,1:1成像