主要產(chǎn)品技術(shù)特征及指標(biāo)：

●采用技術(shù)--積木錯位蠅眼透鏡(109個)消衍射和線條陡直增強(qiáng)技術(shù)，
提高實用光刻分辨力。
●采用i線(365nm)紫外曝光光源和*的光學(xué)系統(tǒng)實現(xiàn)高均勻照明，光
源聚光角小，平行性好。
●配備雙目雙視場顯微鏡和CCD圖像對準(zhǔn)系統(tǒng)，采用22寸寬屏液晶顯示
器，可同時觀察實時對準(zhǔn)過程，也可存儲記錄曝光結(jié)果。
●采用三點式加球氣浮調(diào)平機(jī)構(gòu)自動樣片調(diào)平，對大小樣片具有高調(diào)平
精度。
●曝光參數(shù)設(shè)定采用計算機(jī)控制，智能化過程操作，菜單界面友好。
●關(guān)鍵器件采用進(jìn)口國際品牌產(chǎn)品，整機(jī)可靠性高。
●支持真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種
功能。
●曝光面積：150mm×150mm；對準(zhǔn)精度：≤±0.8 μm。
●掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸、7英寸。
●光刻分辨力：0.8-1 μm（膠厚2 μm的正膠）。
●曝光方式：定時（倒計時方式），0.1s-9999s任意設(shè)定，設(shè)定精度0.1s。
●膠厚：500 μm(SU8膠，用戶提供勻膠條件)。
●汞燈功率：1000W（直流，德國歐司朗，長壽命型）。
● 照明不均勻性： 2.5%（Φ100mm 范圍），5%（Φ150mm范圍）。