TPY-2自動橢圓偏振測厚儀采用消光法自動控制,自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度和靈敏度更高等特點。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定、波長精度高。儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。
規(guī)格參數(shù)
測量范圍 | 薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10 |
測量厚度最小示值(nm) | ≤1 |
偏振器方位角范圍 | 0°- 180°讀取分辨率為0.05° |
偏振器步進角 | 0.014°/步 |
測量膜厚(nm) | ±1 |
折射率重復性精度 | ±0.01 |
度盤刻度 | 每格1度 |
儀器測量精度(nm) | ±0.5(薄膜厚度在10-100nm時) |
入射角調(diào)節(jié)范圍 | 20°~90°精度為0.05° |
入射光波長(nm) | 632.8 |
光學中心高(mm) | 80 |
允許樣品尺寸(mm) | φ10-φ140(或任意形狀),厚度≤15 |
外形尺寸(mm) | 590*390*320 |
主機重量(kg) | 28 |
配置表
基本配置 | TPY-2 | 橢圓偏振測厚儀主機 | 1臺 |
TPY-2 | 主機電控箱 | 1套 | |
二氧化硅膜樣片 | 1片 | ||
TPY-2 | 橢圓偏振測厚儀專用軟件 | 1套 | |
需另配 | 計算機及打印機 | 1套 |