TPY-1橢圓偏振測厚儀采用消光法手動(dòng)調(diào)節(jié),自動(dòng)測量薄膜厚度和折射率,精度高、靈敏度高、方便測量。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定、波長精度高。儀器采用USB2.0接口與電腦連接,軟件具有生成表、查表以及精確計(jì)算等功能,方便用戶使用。
規(guī)格參數(shù)
測量范圍 | 薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10 |
測量厚度最小示值(nm) | ≤1 |
偏振器方位角范圍 | 0°- 180°讀取分辨率為0.05° |
偏振器步進(jìn)角 | 0.014°/步 |
測量膜厚(nm) | ±1 |
折射率重復(fù)性精度 | ±0.01 |
入射角調(diào)節(jié)范圍 | 20°~90°精度為0.05° |
入射光波長(nm) | 632.8 |
光學(xué)中心高(mm) | 80 |
允許樣品尺寸(mm) | φ10-φ140,厚度≤15 |
外形尺寸(mm) | 590*390*290 |
主機(jī)重量(kg) | 25 |
配置表
基本配置 | TPY-1 | 橢圓偏振測厚儀主機(jī) | 1臺(tái) |
TPY-1 | 主機(jī)電控箱 | 1套 | |
二氧化硅膜樣片 | 1片 | ||
TPY-1 | 橢圓偏振測厚儀專用軟件 | 1套 | |
需另配 | 計(jì)算機(jī)及打印機(jī) | 1套 |