uPG 101
uPG 101 是很經(jīng)濟，容易去用微型發(fā)生器進行直寫應用和低容量掩模制作的一個系統(tǒng)。這個系統(tǒng)可運用的應用有，微電子機械系統(tǒng)、生物微系統(tǒng)、集成光學、微流道或者其他需要高分辨率的微型系統(tǒng)。他的面積很小只有60*1875px^2，*的緊湊結構，使得所有的電子分量都可以完整的包含在這個系統(tǒng)中。個人電腦可以用來控制這個系統(tǒng)，這個基于操作軟件的圖形用戶界面使用戶更容易去進行設計，生成目錄，自動對準和生成曝光。
重要特征選項
最小基板尺寸 6”x 6”
最小廟會尺寸0.6um
最小描繪網(wǎng)格20nm
基本灰度曝光模式
實時自動對焦系統(tǒng)
標準或者紫外二級管激光源
矢量和柵格曝光模式
可交換的寫模式
攝像系統(tǒng)的一致性
多種數(shù)據(jù)輸入模式
技術參數(shù)
寫入模式 | 1 | 2 | 3 | 4 |
最小結構大?。╱m） | 0.6 | 1 | 2.5 | 5 |
寫速度（mm^2/min） | 1 | 5 | 35 | 90 |
地址網(wǎng)格（nm） | 20 | 40 | 100 | 200 |
邊緣粗糙度（3σ，nm） | 100 | 120 | 200 | 400 |
線寬均勻度（3σ，nm） | 150 | 200 | 400 | 800 |
線條測量精度（3σ，nm） | 200 | 200 | 400 | 800 |
