CDE ResMap 四點探針 (ResMap 178)4探針測試系統(tǒng)(電阻率,面電阻)
CDE ResMap–CDE 公司生產(chǎn)之電阻值測試系統(tǒng)是以四探針的工藝,以配合各半導體成光伏生產(chǎn)廠家進出之生產(chǎn)品質(zhì)監(jiān)控,既超卓可靠又簡易操作的設備是半導體及光伏生產(chǎn)廠家*的
CDE ResMap 四點探針 (ResMap 178)
CDE 提供自動計算機量測的四點探針阻值量測機臺??焖伲_與軟件控制下針、軟件功能可較佳化下針壓力,即使薄片量測也不易破裂。自動清針(Probe Conditioning);動作,雙針頭切換。太陽能使用可支持自動Loader,300mm 機臺可使用Front End,可擴充3個量測單元,支持Semi標準接口。
光伏測試專用美國ResMap四點探針
CDE ResMap的特點如簡述如下: * 高速穩(wěn)定及自動決定范圍量測與傳送,THROUGHPUT高 * 數(shù)字方式及每點高達4000筆數(shù)據(jù)搜集,表現(xiàn)良好重復性及再現(xiàn)性 * Windows 操作接口及軟件操作簡單 * 新制程表現(xiàn)佳(銅制程低電阻率1.67mΩ-cm及Implant高電阻2KΩ/□以上,皆可達成高精確度及重復性) * 體積小,占無塵室面積少 * 校正簡單,且校正周期長 * 可配
合客戶需求,增強功能與適用性 * 300mm 機種可以裝2~4個量測頭,并且可以Recipe設定更換CDE ResMap–CDE 公司生產(chǎn)之電阻值測試系統(tǒng)是以四探針的工藝,以配合各半導體成光伏生產(chǎn)廠家進出之生產(chǎn)品質(zhì)監(jiān)控,超卓可靠又簡易操作的設備是半導體及光伏生產(chǎn)廠家*的。
主要特點: 測量范圍廣,精度高,穩(wěn)定性好,功能齊全強大,軟件好用,維修成本低,服務好,配件齊全...
美國進口四探針電阻率測試儀(4PP)/方塊電阻測試儀/太陽能光伏擴散薄層電阻測試儀(Four point probe(4PP))
設備名稱: 四點探針電阻儀 (CDE ResMap)
主機廠牌、型號與附件: CDE ResMap
規(guī)格:
1. Pin material: Tungsten Carbide.
2. Pin compression force Typically 100 gm to 200 gm.
3. 樣品尺寸: 2吋至6吋晶圓 (表面須為平整的導電薄膜,半導體材料)
設備用途: 導電薄膜的電阻值分布測量,半導體,光伏
特點:
1)針尖壓力一致
2)適用于各種基底材料
3)友好的用戶界面
4)快速測量
5)數(shù)據(jù)可存儲
應用:
1)方塊電阻
2)薄片電阻
3)摻雜濃度
4)金屬層厚度
5)P/N類型
6)I/V測試