簡易流量控制安裝

在*的質(zhì)量流量測量基礎上，Compod™搭配了Sierra的Smart-Trak® 2質(zhì)量流量計或流量控制器使得設備網(wǎng)絡組態(tài)更加方便。通過開源RTU協(xié)議，Compod™也可以監(jiān)控或診斷流量控制器的內(nèi)部系統(tǒng)參數(shù)值。用戶在配備了Compod™后可以對Smart-Trak®質(zhì)量流量計和控制器進行更復雜的控制，兩路數(shù)字輸出和一路模擬輸入可以對以下工藝參數(shù)進行配配置。
      ? Gas mixing and blending

      ? Batch control

      ? Sensor driven leak testing

      ? Process monitoring

      ? Physical Vapor Deposition (Sputtering)

      ? 壓力監(jiān)控及控制

      ? 氣體比率控制

      ? 內(nèi)部閥門性能監(jiān)測

      ? 多報警信號設置

      ? 客戶自定義流量啟動停止配置

      ? 氣體累計及可調(diào)脈沖輸出設置

      ? 更多...