藍(lán)寶石系列壓力傳感器由藍(lán)寶石單晶絕緣體元素組成,剛度強(qiáng)不會(huì)發(fā)生滯后、疲勞和蠕 變現(xiàn)象;藍(lán)寶石有著非常好的彈性和絕緣特性(1000℃以內(nèi)),對溫度變化不敏感,即使在 高溫條件下,也有著很好的工作特性。藍(lán)寶石的抗輻射特性*;硅-藍(lán)寶石傳感器采用硅 外延技術(shù)在藍(lán)寶石膜片上生長一層硅薄膜,然后采用光刻工藝生成硅橋路,采用重度摻雜工 藝生成應(yīng)變電阻。藍(lán)寶石上生長的硅橋路無 p-N 節(jié)從而對輻射不敏感,同時(shí)不受結(jié)溫溫度上 限的影響可制作更高溫度測產(chǎn)品。采用的重度摻雜工藝可減小硅橋路在高溫條件下的 2 次污 染。從而藍(lán)寶石可應(yīng)于各種復(fù)雜的工況、環(huán)境場合. 傳感器有雙膜片結(jié)構(gòu)何但膜片結(jié)構(gòu)組成:雙膜片結(jié)構(gòu)產(chǎn)品由鈦合金測量膜片和接收膜片 組成。接收膜片是在鈦合金膜片上高溫熔焊的藍(lán)寶石膜片,測量膜片與接收膜片之間采用金 屬硬連桿連接,用熔焊或激光焊連接在一起。被測壓力傳送到接收膜片上。在壓力的作用下, 鈦合金接收膜片產(chǎn)生形變,該形變被硅-藍(lán)寶石敏感元件感知后,其電橋輸出會(huì)發(fā)生變化, 變化的幅度與被測壓力成正比。電橋電路將電橋的失衡信號(hào),轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)輸出。
◆ 溫度測量范圍寬
◆ 溫度誤差極小
◆ 高精度,高穩(wěn)定性
◆ 重量輕,性價(jià)比高