EL-FLOW METAL SEALED
高純度氣體應(yīng)用
Bronkhorst金屬密封氣體質(zhì)量流量測量儀表和控制器以其*的、全金屬密封結(jié)構(gòu)為特征。除此之外,該款流量計(jì)還以其高性能、高質(zhì)量將其與市場上的其它產(chǎn)品區(qū)分開來,因此,該款儀器特別適合于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以及高純度氣體運(yùn)用場合。質(zhì)量流量測量儀表和控制器的表體使用的是 1/4″ VCR 連接。
- 最小流量范圍:0.12…6 mln/min
- 流量范圍: 1… 50 ln/min
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目前市場上的儀表都內(nèi)置集成數(shù)字電路板,從而使儀表具有高精度、超穩(wěn)定的溫度以及快速的反應(yīng)時(shí)間的特點(diǎn)(可設(shè)置的時(shí)間從 t98 可以低至500 msec)。的EL-FLOW® 設(shè)計(jì)風(fēng)格的產(chǎn)品具有多氣體/多范圍功能,從而為客戶(OEM)提供了可選的靈活性以及高效率工藝。為了方便客戶,布瑯軻鍶特高科技公司還提供了免費(fèi)的且方便運(yùn)用的配置軟件。
特點(diǎn)
- 高精確度 (標(biāo)準(zhǔn) 0.5% Rd + 0.1% FS)
- 可進(jìn)行重復(fù)密封的全金屬外部密封結(jié)構(gòu)(無密封圈)
- 電拋光過流部件
- 無塵組裝
- 多介質(zhì)/多范圍可調(diào)節(jié)功能
- 模擬通訊和數(shù)字I/O, 可與如下任意集成接口連接:
DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus, EtherCAT® 或者 FLOW-BUS - 無零飄(不需要零點(diǎn)自動(dòng)調(diào)整電路)
- 高精度、重復(fù)性高
更多資料
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Metal Sealed Mass Flow and Pressure |
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EL-FLOW METAL SEALED F-111CM
- Min. flow 0,12...6 mln/min
- Max. flow 1... 50 ln/min
- Pressure rating 100 bar
- Metal-to-metal outer seals
- Cleanroom assembled
EL-FLOW METAL SEALED F-201CM
- Min. flow 0,12...6 mln/min
- Max. flow 1... 50 ln/min
- Pressure rating 64 bar
- Metal-to-metal outer seals
- Cleanroom assembled