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英國(guó)Ellutia高純氣/特氣分析儀(High Purity Gas Analyser (HPGA))
高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極廣,無論是**分析實(shí)驗(yàn)室亦或是硅芯片制造廠,都需要使用高質(zhì)量高純度氣體。如在半導(dǎo)體工業(yè),
高純氮,氫,氬,氦可作為載氣,保護(hù)氣和配制混合氣的氣體來源。
Ellutia高純氣/特氣分析儀可提供一整套氣體混合物的分析方法,檢測(cè)限可達(dá)ppb級(jí)(<50ppb),既可用于檢測(cè)常見的He、
H2,Ar,N2,CO2中的微量雜質(zhì),還可分析特種氣體如HCL,SiH4,BCL3,N2O,CF4等。根據(jù)不同應(yīng)用要求,實(shí)現(xiàn)客戶化定制。
產(chǎn)品特點(diǎn)
實(shí)現(xiàn)多種氣體高靈敏度檢測(cè)
氦氣吹掃,避免與空氣接觸所引起的外界污染
精密防泄露裝置,避免潛在污染
配備高純氣吸氣劑,去除微量雜質(zhì)
尺寸規(guī)格小,不占據(jù)實(shí)驗(yàn)室空間