多通道光譜儀/激光誘導(dǎo)激光光譜系統(tǒng)
什么是激光誘導(dǎo)激光光譜系統(tǒng)?
激光誘導(dǎo)擊穿光譜(LIBS)是一種原子發(fā)射光譜儀。可以對固相、液相和氣相基體中幾乎所有元素進行定性和定量的分析。不同于傳統(tǒng)的檢測方法如ICP-OES或者XRF,LIBS在檢測過程中無需進行復(fù)雜的樣品制備。為了達到這個目的,LIBS采用高能量聚焦脈沖激光光束將樣品激發(fā)至等離子態(tài),對產(chǎn)生的對應(yīng)元素發(fā)射譜進行分析。元素發(fā)射譜的波長與元素的種類直接相關(guān),而元素譜線的強度則和元素的含量相關(guān)。
激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)特點
激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)系統(tǒng)在進行元素分析的時候,需要樣品量極少,對樣品的破壞性??;具有自清潔能力,幾乎不需要樣品制備;可以實現(xiàn)快速實時在線分析;具有遙測能力,可實現(xiàn)有毒、強輻射等惡劣環(huán)境中的遠距離、非接觸性測量;具有ppm量級探測靈敏度,可對痕量元素進行探測。
激光誘導(dǎo)擊穿光譜產(chǎn)品構(gòu)成:
多通道光譜儀MX2500+,憑借其高效的外部同步時鐘,的協(xié)同了所有通道實現(xiàn)精確的延遲采集,準確的在原子激發(fā)輻射突出時采集到完整的原子譜線信號。同時,MX2500+可以應(yīng)客戶的需求在180-1100nm的范圍內(nèi)自由的配置光譜儀的通道數(shù)量和覆蓋范圍,系統(tǒng)自帶的高效時鐘可以的同步所有通道,并同時實現(xiàn)精確觸發(fā)兩臺外部設(shè)備。(如激光器或微波增強設(shè)備)
激光器:常使用Nd:YAG激光器,激光器的脈沖寬度一般為納秒量級,能夠在極短時間內(nèi)在極小面積上集中大量能量,作為系統(tǒng)激勵源,將樣品表面微量物質(zhì)剝離并激發(fā)出等離子體。
樣品倉:密閉穩(wěn)定的倉式結(jié)構(gòu),一般會包含樣品平臺,激光聚焦和收光光路,氣體吹掃系統(tǒng),成像系統(tǒng),激光安全保護等配套裝置。
產(chǎn)品特點:
· 可搭配穩(wěn)定高效的樣品倉系統(tǒng)
· 可升級光譜模塊
· 支持雙脈沖激光器
· 寬光譜高分辨率測量,180-1100nm范圍內(nèi)多達16384個像元
· 高觸發(fā)信號精度(±10ns)
應(yīng)用方向:
· 環(huán)境監(jiān)測(土壤污染,工業(yè)生產(chǎn))
· 材料分析(金屬,煤炭,塑料)
· 醫(yī)學(xué)和生物化學(xué)(骨骼,牙齒)
· 國家安全(爆炸,生化)
· 藝術(shù)品鑒定(顏料,陶瓷,寶石)
LIBS系統(tǒng)應(yīng)用:
土壤&農(nóng)作物污染檢測:
隨著工業(yè)的發(fā)展,土壤污染也日益嚴重,從而會對植物,尤其是農(nóng)作物造成很大影響。
海洋光學(xué)的客戶使用MX2500+光譜儀組合樣品倉,在實驗室內(nèi)使用激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)進行土壤和農(nóng)作物中重金屬成分進行研究,結(jié)合對應(yīng)重金屬元素的濃度標定,可以實現(xiàn)對應(yīng)元素在土壤和農(nóng)作物中的含量測量。由于激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)無需樣品制備的特點,能夠?qū)崿F(xiàn)快速測量,因此研究結(jié)果對未來的土地污染防治,農(nóng)作物生產(chǎn)方面起到很大的指導(dǎo)意義。
古玩鑒定:
在經(jīng)濟日漸繁榮的今天,古玩收藏已不再是文人雅士的,而逐漸成為人們經(jīng)濟生活的一部分。海洋光學(xué)的MX2500+激光誘導(dǎo)等離子體光譜分析儀引進到古玩鑒定中,以實現(xiàn)更快、更準確地鑒定古玩真?zhèn)蔚哪康摹?/span>
系統(tǒng)用極其微小的一束激光打在鑒定樣品上,通過接收激發(fā)的等離子體實現(xiàn)對微量樣品的光譜分析。該檢測對樣品的損傷是分子級別的(相對于把樣品放到桌子上產(chǎn)生的損傷還?。?;同時,MX2500+具有體積小巧、便于攜帶的優(yōu)勢。MX2500+系統(tǒng)將為古玩鑒定專家?guī)磔^高的準確性,使這個古來的行業(yè)煥發(fā)青春活力。
多通道應(yīng)用:
煤炭&金屬測量:
傳統(tǒng)的煤炭分析方法耗時長,無論在煤炭生產(chǎn)或是使用中無法實現(xiàn)實時的成分分析,尤其是對于其中部分成分(硫)含量的實時檢測無法實現(xiàn),因而無法進行實時的質(zhì)量控制。海洋光學(xué)的MX2500+組成的激光誘導(dǎo)擊穿光譜測量系統(tǒng)作為一種紫外波段特殊優(yōu)化的快速成分分析設(shè)備,可以實現(xiàn)從煤炭生產(chǎn)到煤炭燃燒各個環(huán)節(jié)的實時監(jiān)控。
等離子體發(fā)光測量:
MX2500+不僅僅可以組建激光誘導(dǎo)擊穿光譜系統(tǒng),還可以用在各種各樣的原子光譜測量場合。例如電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法(ICP-OES)聯(lián)合使用,作為燃燒爐后端光譜采集設(shè)備。
寬波段、高分辨的多通道光譜儀MX2500+也是激光的測量的應(yīng)用中的一把利器。
大氣壓輝光放電過程中會生成等離子體,采用多通道光譜儀MX2500+測量等離子體,對使用大氣壓輝光放電的工作實現(xiàn)了實時過程監(jiān)測。
等離子刻蝕是半導(dǎo)體及微系統(tǒng)制造超大規(guī)模集成電路制造過程中的關(guān)鍵步驟,使用多通道光譜儀MX2500+實時監(jiān)測等離子體光譜,即可在刻蝕過程中精確的定位蝕刻終點,提升刻蝕的工藝水平。
技術(shù)參數(shù)
系統(tǒng)性能參數(shù) | |
可測元素 | 原子序數(shù)Z≥1 |
濃度范圍 | ≥10ppm,取決于元素種類 |
樣品性狀 | 固體或壓片粉末 |
樣品尺寸 | 30*30*20mm(x*y*z) |
樣品重量 | 2kg |
平移臺行程范圍 | 60*60*60mm(x*y*z) |
光斑尺寸 | ≤50um,激光波長1064nm |
激光器波長 | Nd:YAG 1064nm/532nm可選 |
激光器能量 | 50mJ/200mJ可選 |
光纖 | 抗紫外光纖 |
成像 | 可選高倍微觀視野 |
軟件 | 控制硬件設(shè)備,獲取數(shù)據(jù) |
支持二次開發(fā),動態(tài)鏈接庫 | |
光譜處理算法,熒光背景扣除 | |
光譜儀參數(shù) | |
波長范圍 | 180nm-1100nm |
通道數(shù) | 1~8通道 |
光學(xué)分辨率 | 0.1nm(FWHM) |
探測器 | 線陣CCD/面陣CCD可選 |
積分時間 | 1ms~65s |
觸發(fā)延遲 | ±450us |
觸發(fā)抖動 | ±10ns |
尺寸重量 | |
MX2500+尺寸(8通道) | 460mm*150mm*165mm |
MX2500+重量(8通道) | 7kg |
樣品倉尺寸 | 450mm*360mm*460mm |
樣品倉重量 | 25kg |
激光驅(qū)動器尺寸 | 360mm*133mm*435mm |
激光驅(qū)動器重量 | 14kg |