導(dǎo)電型號測試儀 型號:CN61M-STY-1庫號:M222266 查看hh
導(dǎo)電型號測試儀是嚴格按照SEMI MF42-1105、GB/T 1550-1997(非本征半導(dǎo)體材料導(dǎo)電類型的標準測試方法)中的熱探針法設(shè)計的導(dǎo)電類型鑒別儀。
本儀器熱探筆內(nèi)裝有加熱和控溫組件,自動加熱并使溫度維持在40-60℃范圍內(nèi),冷熱探筆在半導(dǎo)體材料上產(chǎn)生的熱電動勢,經(jīng)低噪聲、低漂移的集成運算放大器放大后,用寬表面檢流計指示型號方向,并可定量測出熱電流的數(shù)值大小。儀器靈敏度可調(diào),可在的電阻率(從高阻單晶到重摻單晶)范圍內(nèi)判別半導(dǎo)體材料型號。
技術(shù)參數(shù)
(1)可判別鍺、硅材料的電阻率范圍:
鍺:非本征鍺~10-4Ω·cm ,硅:103~10-4Ω·cm
實驗證明:在室溫情況下,對于電阻率低于1000Ω·cm的N型和P型硅,本方法結(jié)果。
(2)熱電流測量范圍:0~±1μA 分六個量程:
±3nA、±10nA、±30nA、±100nA、±300nA、±1μA
大偏轉(zhuǎn)靈敏度:1×10-11A/格
(3)鍺、硅單晶直徑及長度:不受限制。
(4)顯示方式:刻度為零位的寬表面指針指示器,指針向正方向偏轉(zhuǎn)被測樣品為P型,指針向負方向偏轉(zhuǎn)被測樣品為N型。
(5)探針:選用SEMI MF42-1105標準中建議的不銹鋼作探針材料,針尖為60°錐體,熱筆溫度自動保持在40-60℃范圍內(nèi),冷筆與室溫相同。
(6)電源及功耗:AC 220V±10%,50HZ交流供電,耗電小于10W。
(7)外型尺寸:170×160×230(mm)
(8)重量:約2.5kg