無氧烘箱 12寸晶圓烘箱 MES無氧箱

一．概述：

無氧化烘箱，在工作時，工作室內(nèi)充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工業(yè)中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板……

二．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

1.名稱及型號：無氧烘箱/烤箱/烘烤箱QMO-500

2、主要技術(shù)指標(biāo)：

2.1含氧量：< 20ppm，50ppm，100ppm,含氧量：<=5000ppm;

2.2溫度范圍： RT（室溫）+60～ +250℃；

2.3溫度均勻度：±1.5%;

2.4溫度波動度：±0.5℃（空載）

2.5溫控精度：±0.1℃;

2.6烘箱擱板為活動形式。

2.7工作尺寸：W800×H800×D800

2.8電源：380V 3φ 50HZ 8Kw

3、箱體結(jié)構(gòu)：

3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)部分組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；

3.2全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺本身產(chǎn)生微塵；

3.3箱體材料：外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵；

3.4內(nèi)膽材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生PARTICLE；

3.5中桶材料：采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。

3.6保溫材料：硅酸鋁棉；

3.7夾層降溫：水冷降溫.(從250度降到60度預(yù)計50分鐘內(nèi)）

4、可靠的測控系統(tǒng)

4.1溫控裝置：智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控

10〃TFT真彩觸摸薄屏

程式編輯：可預(yù)編120個程式，每個程式可編99段，共1200段

歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出)

溫度、含氧量曲線可同時顯示

4.2溫控輸出：SSR輸出，歐姆龍繼電器，固態(tài)繼電器

4.3含氧量分析儀：配國產(chǎn)含氧量分析儀（上海英盛ZO-802）。 　　　　　　　　

4.4氮氣系統(tǒng)：Ｎ２流量計控制進(jìn)氣量；入氣口:10mm；排氣口：φ100，位于箱體頂部，排氣可設(shè)定時間段。

5、完善的安全保護(hù)措施：漏電斷路器//超溫保護(hù)//欠相保護(hù)//馬達(dá)過載電流保護(hù)//機(jī)臺異常蜂鳴器警示

產(chǎn)品參考圖：