12寸/8寸/6寸晶圓烘烤箱
晶圓智能烘箱采用智能烘箱過程管理系統(tǒng),由上海和呈儀器有限公司自主研發(fā),基于TCP/ip協(xié)議,與工廠系統(tǒng)對(duì)接,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化烘烤,過程管理??刂品奖?、操作簡(jiǎn)單、靈活性大。高精度控制、智能化操作、人性化的構(gòu)造,大大提高生產(chǎn)效力!
晶圓智能烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking),曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘(Hard baking)等工藝,適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。
晶圓智能烘箱主要參數(shù)介紹:
溫度范圍:室溫+20℃~300
均勻度:±1.5%
潔凈等級(jí): Class100
升溫速度:常溫~300℃,升溫速度>6℃/min
降溫速度:降溫斜率程序可控,200℃~ 120℃,3.5度/分鐘,120℃~ 65℃約1.5度/分鐘
控制系統(tǒng):歐姆龍PCL+PC工控電腦。
智能控制系統(tǒng)特點(diǎn):
◆ 可接入MES和ERP通訊
◆ 權(quán)限分級(jí)管理,給每個(gè)管理者、工程師、操作員獨(dú)立用戶名和密碼
◆ 智能控制系統(tǒng),歷史數(shù)據(jù)、操作、報(bào)警,事件等等數(shù)據(jù)查詢,記憶操作步驟,操作便捷
◆ PC 內(nèi)部記錄數(shù)據(jù),使用 Excel 等常用軟件可以讀取,短數(shù)據(jù)記錄間隔5S;
◆ 工廠系統(tǒng),選擇烘烤工藝,啟動(dòng)/停止烘箱;
◆ 工廠系統(tǒng)根據(jù),過程判斷待烤料件工位,記錄反饋工位信息;
◆ 系統(tǒng)控制開/關(guān)門等動(dòng)作;
◆ 系統(tǒng)記錄并處理各種烘箱異常事件。如:超溫,氮?dú)獠蛔悖趿砍瑯?biāo)、門未關(guān)到位;
◆ 實(shí)施記錄各種相關(guān)數(shù)據(jù),如,溫度,料件ID,工藝信息
產(chǎn)品參考圖: