TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀
產(chǎn)品詳細資料
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及自動控制等特點。光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定波長精度高。
儀器采用PCI接口與電腦連接,配套軟件功能齊全,具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式,適用于不同用戶的需要。
TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀
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TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀
測量范圍 | 薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10 | 偏振器方位角范圍 | 0°-180°讀取分辨率為0.05° |
入射光波長 | 650nm(半導體激光器)/ 632.8nm(氦氖激光器)。 | 偏振器步進角 | 0.014°/步 |
入射角調(diào)節(jié)范圍 | 20°- 90°精度≤0.05° | 測量膜厚 | ±0.5nm |
光學中心高 | 80mm | 折射率重復性精度 | ±0.05 |
測量厚度zui小示值 | ≤1nm | 儀器測量精度 | ±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm時) |
允許樣品尺寸 | φ10-φ140mm,厚度≤15mm | 外形尺寸 | 580×390×320(mm) |
度盤刻度 | 每格1度 | 主機重量 | 28kg |
TPY-2實驗主機、電控系統(tǒng)、PCI接口、二氧化硅膜樣片、配套軟件
TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀