一、儀器整機(jī)主要性能參數(shù):
1、波長(zhǎng)范圍:180-800nm(2400刻線/mm)或180-500nm(3600刻線/mm)
2、分辨率:在180-500nm整個(gè)波段內(nèi)分辨率≤0.006nm
3、波長(zhǎng)示值誤差和重復(fù)性:波長(zhǎng)示值誤差≤0.02nm,重復(fù)性≤0.003nm
4、掃描步距:可達(dá)0.0004nm
5、精密度:RSD≤1.5%
6、穩(wěn)定性:RSD≤2.0%
7、檢出限:PPb級(jí)
8、分析元素范圍:可對(duì)72種金屬元素和部分非金屬元素(如B、P、Si、Se、Te)進(jìn)行定量和定性分析
9、線性范圍:7個(gè)數(shù)量級(jí)以上。
10、分析速度:每分鐘掃描20個(gè)元素以上
11、等級(jí)證書:國家計(jì)量器具形式許可A級(jí)
二、儀器各部件詳細(xì)參數(shù):
全自動(dòng)等離子體發(fā)射光譜儀射頻發(fā)生器(RF)
(1)電路類型:電感反饋?zhàn)约な秸袷庪娐?、同軸電纜輸出、匹配調(diào)諧、取功率反饋信號(hào),進(jìn)行閉環(huán)自動(dòng)控制
(2)工作頻率:40.68MHz ± 0.05%
(3)頻率穩(wěn)定性:≤0.05%
(4)輸出功率:800—1500W,自動(dòng)調(diào)整
(5)輸出功率穩(wěn)定性:≤0.3%
(6)電磁場(chǎng)泄漏射強(qiáng)度:距機(jī)身20cm 處,電場(chǎng)強(qiáng)度E:<2 V / m
全自動(dòng)等離子體發(fā)射光譜儀進(jìn)樣裝置
(1)輸出工作線圈:內(nèi)徑25mm 、3匝
(2)炬管:三同心型,外徑20mm的石英炬管
(3)同軸型噴霧器:外徑6mm
(4)雙筒型霧室:外徑34mm
(5)觀測(cè)位置:縱向觀察高低和橫向觀察前后,可通過軟件直觀地調(diào)為*
(6)氬氣流量計(jì)規(guī)格和載氣壓力表規(guī)格:
1、等離子氣流量計(jì):(100-1000)L/h (1.6-16L/min)
2、輔助氣流量計(jì):(10-100)L/h (0.16-1.66L/min)
3、載氣流量計(jì):(10-100)L/h (0.16-1.66L/min)
4、載氣穩(wěn)壓閥:(0-0.4Mpa)L/h
5、冷卻水:水溫:21-26℃ 流量>5L/min 水壓>0.1Mpa 冷卻水:電阻率>1MΩ
分光器
(1)光路:Czerny-Turner
(2)焦距:1000mm
(3)光柵規(guī)格:離子刻蝕全息光柵;刻線密度3600線/mm,刻線面積:80×110mm
(或刻線密度2400線/mm,刻線面積:80×110mm)
(4)線色散率倒數(shù):0.26nm/mm
(5)分辨率:≤0.007nm(整個(gè)波段)
(6)掃描波長(zhǎng)范圍: 180-500nm,3600刻線/mm;
180-800nm,2400刻線/mm
(7)掃描步距:0.0004nm
(8)出射、入射狹縫:20μm×25μm
(9)反射鏡規(guī)格:(78×105×16)mm
(10)透鏡:φ30,1:1成像
(11)反射鏡規(guī)格:凹型
(12)分光器恒溫裝置:34℃±0.5℃
測(cè)光裝置
(1)光電倍增管規(guī)格:日本高效R212UH或R928
(2)光電倍增管負(fù)高壓:200-1000V,自動(dòng)調(diào)節(jié),穩(wěn)定性<0.01%
(3)光電倍增管電流測(cè)量范圍:10-4~10-9A
(4)信號(hào)采集為V/F交換:1mV對(duì)應(yīng)100Hz
(5)采樣電路:使用國外高精密度運(yùn)算放大器,使儀器的靈敏度和精確度大大提高
(6)儀器數(shù)據(jù)采集:通過串口與電腦連接,從而簡(jiǎn)化了電路使連接更加便捷
(7)測(cè)光方式:?jiǎn)?、多元素順序測(cè)量
操作軟件:
(1)操作系統(tǒng):Windows XP 或者Windows 7操作平臺(tái)
(2)測(cè)定波長(zhǎng)數(shù):任意選擇
(3)分析速度:每分鐘20個(gè)元素以上
(4)數(shù)據(jù)庫:譜線庫11萬條以上
(5)多窗口:在測(cè)量完一次結(jié)果后可以在顯示窗口保留上次結(jié)果同時(shí)、測(cè)量下一樣品;
(6)標(biāo)準(zhǔn)加入法:軟件要有標(biāo)準(zhǔn)加入法,以便在不同條件和應(yīng)用中下使用
(7)分析模式:軟件默認(rèn)*分析模式,擁有儀器診斷、譜圖分析及幾種測(cè)量方式和幾種積分模式, 單位任選等多種功能
(8)歷史數(shù)據(jù)庫:在歷史數(shù)據(jù)庫中,可以同時(shí)可選擇性地打印想要打印的批次分析結(jié)果或者轉(zhuǎn)換成 Exce
(9)數(shù)據(jù)輸出:軟件支持激光打印機(jī)打印分析結(jié)果