產(chǎn)品簡介
善準科技等離子清洗機VP-R手動版,手動控制,13.56MHz物理與化學(xué)作用俱佳,適用于PDMS鍵合,石墨烯粉末清洗,硅材料親水性處理和高分子材料處理。
產(chǎn)品特性
1.BetterReliability,Better Operation
內(nèi)置一路通入氣體,無需再搭配氣體混合儀
簡易、智能化設(shè)計,避免誤操作
采用數(shù)字顯示壓力,實時觀察腔體壓力變化情況
手動控制,人機界面友好
清洗結(jié)束,旋鈕泄壓
泄壓時長和大小可調(diào),可通入氮氣泄壓
清洗功率高、中、低三擋可調(diào)
2.補充國內(nèi)技術(shù)空白
柔性電極輸出13.56MHz頻率用于等離子清洗
性能俱佳,在控制自動化,人性化設(shè)計方面前列
腔體低溫,運行時腔體溫度小于32°C
13.56MHz物理作用和化學(xué)作用俱佳
等離子體從腔體向四周發(fā)出,對樣品整個表面處理更*
VP-R手動版與薄膜、玻璃基片和石墨烯等離子處理比對情況
3.質(zhì)量可靠,細節(jié)決定
石英材質(zhì)腔體,保證腔體更加潔凈,更適合清潔度高材料
國內(nèi)真空泵,保證腔體真空度穩(wěn)定,等離子清洗強度更強
306不銹鋼卡扣,比普通鋁制卡扣更耐用,接口氣密性更好
1.5米不銹鋼波紋管,比橡膠更耐用,密封性更好
高硼硅圓形托盤,避免樣品二次污染
4.經(jīng)典清洗案例分析
石墨烯粉末清洗、改性,去除粉末雜質(zhì)和油質(zhì)增加石墨烯表面親水基團(-OH)提高親水性
金屬工件油污等離子清洗,不損傷樣品,去除表面油污
PDMS等離子清洗,改變表面性質(zhì),提高粘接能力
橡膠親水性處理
薄膜等離子處理
技術(shù)規(guī)格
型號 :VP-R手動版
腔體材質(zhì):石英玻璃
腔體容量:2L
內(nèi)腔尺寸:Φ100x200Lmm
射頻功率:160W
射頻頻率:13.56MHz
RF放射:無
頻率偏移量:小于0.2KHz
等離子體轟擊:從四周向中間
腔體溫度:滿功率運行30分鐘腔體溫度<32℃
清洗時間:手動設(shè)置
功率調(diào)節(jié):高、中、低三擋
顯示屏:無
操作控制:手動控制
氣體流量計:無
提供進氣氣路:一路進氣,進氣量可調(diào)
進氣管:一根
泄壓:手動開關(guān)泄壓,泄壓速度可調(diào)
真空泵極限真空度:5x10﹣2Pa
抽速:8m3/h
噪音:≤56dB
抽真空時間:啟動到發(fā)出輝光≤35秒(時間可調(diào))
真空檢測:無
冷卻方式:風(fēng)冷
腔體門:高強度鋁合金
真空泵控制:主機與真空泵聯(lián)動
供電電源:AC220V/50Hz
箱體平衡:減震橡膠腳杯
外形尺寸(LxWxH):420x420x320mm
善準科技等離子清洗機VP-R手動版訂購信息
標(biāo)準配置 :主機、真空泵、1.5米波紋管、清洗托盤、電源線、說明書、合格證、保修卡、提供一路進氣管
選配件:1、微量控氣閥(清洗粉末適用)2、高硼硅圓形托盤 3、安捷倫干式真空泵,防止油氣揮發(fā)(高潔凈實驗室適用)