蔡司 XENOS-超高精度三坐標
從科研機構(gòu)的測量實驗室、航空和航天工業(yè)直至光學工業(yè)。這一測量機的測量精度達到技術(shù)極限，其測量范圍近1立方米。創(chuàng)新的驅(qū)動技術(shù)和碳化硅陶瓷材料的使用也確保了機器的動態(tài) 性能。
創(chuàng)新的機械設(shè)計蔡司 XENOS-超高精度三坐標
ZEISS XENOS新型的機械設(shè)計基于經(jīng)過驗證的ZEISS CenterMax，令人印象深刻。與標準橋式測量機不同：Y導(dǎo)軌分布于側(cè)壁頂部，分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優(yōu)勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及速度的*統(tǒng)一。
所有軸均采用線性驅(qū)動蔡司 XENOS-超高精度三坐標
XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動。其優(yōu)點：高速、加速極快、定位精度高、驅(qū)動無剪切力影響結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù)，XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù)，XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的*定位精度。例如，測針偏移量越恒定，即可獲得更佳的測量精度。于測量曲面時更顯見另一優(yōu)勢：測針的移動路徑與預(yù)定值越吻合，即可實現(xiàn)越出色的精確性。
虛擬*驅(qū)動
于測量曲面時更顯見另一優(yōu)勢：測針的移動路徑與預(yù)定值越吻合，即可實現(xiàn)越出色的精確性。虛擬*驅(qū)動XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng)，得益于蔡司的*驅(qū)動技術(shù)可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置*分布驅(qū)動力作為控制系統(tǒng)及算法之*結(jié)合，這是在整個測量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。
碳化硅陶瓷
XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng)，得益于蔡司的*驅(qū)動技術(shù)可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置*分布驅(qū)動力作為控制系統(tǒng)及算法之*結(jié)合，這是在整個測量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。碳化硅陶瓷XENOS在與精度密切相關(guān)的機器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止，該材料從未在類似產(chǎn)品或精度的測量機器上得到使用與常規(guī)陶瓷相比，碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%，而剛性則可大提升30%，同時減重20%。
