簡介: 高精度 X- Y- Z- R- (T) 五自由度納米手。圖中所示五自由度納米手應(yīng)用非常廣泛,除可用于FIB薄片取出器外(薄片用于TEM觀測),還可進(jìn)行任何其它的納米級(jí)操縱實(shí)驗(yàn)。
產(chǎn)品概述:FIB薄片取出器
移動(dòng)范圍:
X = 20 mm, Y = 20 mm, Z = 5mm,
R = unlimited, T = ± 10° (manual tilt variation).
可根據(jù)需求定制更大的移動(dòng)范圍或更多的活動(dòng)軸(自由度)。
集成的線性編碼器讓用戶任意時(shí)刻都能掌握納米手的確切位置,該特點(diǎn)非常有利于針尖向感興趣點(diǎn)的移動(dòng)過程。 而且,位置點(diǎn)參數(shù)可以存儲(chǔ)并調(diào)用,方便重復(fù)利用。
得益于嚴(yán)格的正交機(jī)械軸設(shè)計(jì),用戶進(jìn)行操作時(shí)非常簡易直觀。
產(chǎn)品規(guī)格:
材質(zhì): | 鋁, 不銹鋼, 陶瓷 |
尺寸(mm, L x B x H): 重量: | ˜ 40 x 54 x 35 (cross table) ~100g. |
移動(dòng)范圍(mm): | 20 x 20 x 20 (XYZ-Modul) |
移動(dòng)精度: | < 10 nm |
移動(dòng)速度范圍: | 1000 µm/sec*. – 0,001 µm/sec. |
位置確定: | 線性編碼器 |
控制器: | 微處理器控制器, 搖桿 |
外罩: | 桌面盒子
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