昆山國(guó)華真空等離子設(shè)備輝光放電特點(diǎn)

低氣壓輝光放電區(qū)的名稱來(lái)源于這種等離子體是發(fā)光的，產(chǎn)生發(fā)光是因?yàn)殡娮幽芰亢碗娮用芏纫呀?jīng)高到足可以由激發(fā)碰撞產(chǎn)生可見光。典型的水平電極真空（低壓）等離子清洗機(jī)的電極結(jié)構(gòu)如圖所示：

水平電極真空（低壓）等離子清洗機(jī)的電極<圖1>

真空等離子清洗機(jī)輝光放電所產(chǎn)生的冷等離子體，在等離子體與材料表面相互作用中有著重要的地位，輝光放電一般在低氣壓（幾到105Pa）下進(jìn)行的。當(dāng)選擇適當(dāng)?shù)耐怆娐窏l件及連續(xù)地冷卻陰極時(shí)，在大氣壓下也可得到輝光放電。輝光放電的特性參數(shù)如表1所示：

輝光放電的特性參數(shù)<表1>

昆山國(guó)華真空等離子設(shè)備輝光放電特點(diǎn)，較顯著特征是：

以陰極位降所表征的氣體中電位分布，這一電位分布是由于空間電荷的影響，輝光放電區(qū)別于電弧放電是具有大的陰極位降，以及本身輻射引起的光電離等。被輝光覆蓋著的并參加放電現(xiàn)象的陰極表面正比于管內(nèi)電流強(qiáng)度，當(dāng)電流減小或增加時(shí)，電流密度保持不變，并且陰極位降也保持不變，這時(shí)的放電稱為正常輝光放電。

當(dāng)電流增加到全部陰極表面被輝光覆蓋時(shí)，陰極位降隨電流強(qiáng)度及電流密度的增加前開始加大，這時(shí)進(jìn)入反常輝光放電。正常輝光放電的陰極位降與氣壓無(wú)關(guān)，而決定于陰極材料及氣體性質(zhì)。

輝光放電的放電空間有特殊的光區(qū)分布，總的來(lái)說(shuō)分為兩大部分：*部分是放電的陰極部分，包括阿斯頓暗區(qū)、陰極輝區(qū)、陰極暗區(qū)、負(fù)輝區(qū)及法拉第暗區(qū)。前三個(gè)區(qū)稱為陰極位降區(qū)，這一部分的電壓降占管壓降的大部分，為維持放電所必需的過(guò)程都集中在這里；第二部分稱為陽(yáng)極部分，包括正柱區(qū)、陽(yáng)極暗區(qū)和陽(yáng)極輝區(qū)。其中陰極部分并不具備等離子體的特征, 從正柱區(qū)一直到放電的陽(yáng)極其他部分都是處于等離子體狀態(tài)。如圖2所示

輝光放電光區(qū)分布<圖2>

在正常輝光放電的陰極區(qū)，正的凈離子數(shù)密度是常數(shù)。當(dāng)進(jìn)入反常輝光區(qū)時(shí)，電流密度的增加引起電場(chǎng)的畸變陰極位降進(jìn)一步提高，陰極位降區(qū)功率損耗越來(lái)越大，使陰極上發(fā)生濺射。陰極濺射是輝光放電陰極上一個(gè)特殊過(guò)程，如陰極濺射可以清除陰極表面不同性質(zhì)的附著層，可以獲得金屬膜附著在金屬、玻璃、陶瓷、云母等材料上面。

隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，等離子清洗機(jī)的應(yīng)用范圍越來(lái)越廣，涉及汽車及半導(dǎo)體，航空航天、塑料橡膠、材料學(xué)，光學(xué)，電子學(xué)，醫(yī)藥學(xué)，環(huán)境學(xué)，生物學(xué)等不同領(lǐng)域，那么用等離子清洗到底有哪些優(yōu)點(diǎn)呢？

因?yàn)榈入x子清洗機(jī)的成本較低而且操作簡(jiǎn)單靈活，可以方便的變更處理氣體的種類和處理工藝參數(shù)；使用過(guò)程中不會(huì)給操作人員的身體帶來(lái)任何的不良；對(duì)于等離子處理方式來(lái)說(shuō)，等離子清洗機(jī)的成本是十分低廉的，具有客觀的性價(jià)比和優(yōu)勢(shì)；從環(huán)保的角度考慮，等離子清洗機(jī)的整個(gè)處理過(guò)程都是無(wú)污染無(wú)公害，綠色環(huán)保的。

等離子清洗使得操作員可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問(wèn)題；避免使用ODS有害溶劑，這樣清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法，這在高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性；

清洗的對(duì)象經(jīng)過(guò)等離子清洗機(jī)清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)風(fēng)干或干燥處理就可送往下一道工序、可以提高整個(gè)工藝流水線的處理效率。

利用高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體運(yùn)行的方向都是零散性的，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成各種清洗任務(wù)，因此不需要過(guò)多考慮被清洗物體的形狀。而且對(duì)這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好。

所以等離子清洗機(jī)在很多*行業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用，尤其是在汽車及半導(dǎo)體、微電子行業(yè)以及集成電路電子行業(yè)和真空電子行業(yè)中的應(yīng)用，可以說(shuō)等離子清洗機(jī)是一種重要的設(shè)備，也是生產(chǎn)工藝中*的一道工藝，更是產(chǎn)品質(zhì)量的把關(guān)卡。

根據(jù)等離子清洗機(jī)在各種行業(yè)中的應(yīng)用，我們可以發(fā)現(xiàn)等離子清洗機(jī)有很多的優(yōu)點(diǎn)，正是由于它擁有這些優(yōu)點(diǎn)，使得等離子清洗機(jī)設(shè)備在清洗、刻蝕、活化、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場(chǎng)合中應(yīng)用十分廣泛，并且通過(guò)它的處理，可以有效的改善材料表面的潤(rùn)濕能力，粘接力從而使多種材料都能夠進(jìn)行涂覆和鍍膜等操作，增強(qiáng)粘合能力和鍵合力，同時(shí)還可以將有機(jī)污染物、油污或者是油脂清除干凈等離子清洗機(jī)的優(yōu)點(diǎn)和用途非常的多。

如上所述即為真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)生的輝光放電特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)，國(guó)華電子為您解說(shuō)！謝謝！