P34二維θxθy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 1.5/3/6mrad
壓電偏轉(zhuǎn)鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計，外部機械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運動，補償量小，偏轉(zhuǎn)鏡具有高的運動精度和穩(wěn)定性，通過內(nèi)置高精度傳感器進行閉環(huán)控制，實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P34二維θxθy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 1.5/3/6mrad是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計，外部機械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運動，補償量小，偏轉(zhuǎn)鏡具有高的運動精度和穩(wěn)定性，通過內(nèi)置高精度傳感器進行閉環(huán)控制，實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P34二維θxθy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 1.5/3/6mrad系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是專為大直徑鏡片而設(shè)計，可加載直徑達(dá)80mm的鏡片，它的差分驅(qū)動在較大溫度范圍內(nèi)表現(xiàn)出出色的角度定位穩(wěn)定性。P34系列偏轉(zhuǎn)鏡允許頂部平臺在具有共同樞軸點（并聯(lián)運動）的兩個正交軸上進行高動態(tài)精密偏轉(zhuǎn)運動，多種鏡片安裝面可選，以獲得對不同鏡片材料的理想熱適應(yīng)。開環(huán)、閉環(huán)版本可供選擇，所有版本都具有亞微弧度分辨率，且傾斜角度可達(dá)6mrad(等于光束偏轉(zhuǎn)12mrad)。
特性
• θx,θy二維偏轉(zhuǎn)，偏轉(zhuǎn)角度6mrad • 閉環(huán)定位精度高 • 分辨率高 • 溫度穩(wěn)定性高 • 亞毫秒響應(yīng)時間
| 高穩(wěn)定性、線性度及動態(tài)性、使用壽命長 | 結(jié)構(gòu)原理 | ||
| 芯明天壓電俯仰/偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)是基于平行運動學(xué)設(shè)計，兩個方向偏轉(zhuǎn)運動共用同一個移動面。內(nèi)部四個壓電促動器是成對的差分控制，決定了平臺俯仰/偏轉(zhuǎn)運動。這使得P34壓電傾斜鏡在較大溫差變化范圍的環(huán)境中具有較好的角度定位穩(wěn)定性。 內(nèi)部采用芯明天疊堆型壓電促動器可保證可靠性。特殊樹脂絕緣使其可抵抗環(huán)境濕度及漏電流故障。所以在可靠性及壽命上遠(yuǎn)優(yōu)于傳統(tǒng)壓電促動器。 | 偏轉(zhuǎn)鏡（兩軸）是基于4個壓電陶瓷結(jié)構(gòu)設(shè)計而成，每軸采用兩個壓電陶瓷，以推拉模式形成偏擺運動，采用橋式連接電路控制。四個執(zhí)行機構(gòu)（壓電促動器）以90°角平分放置，是成對的差異控制分布形式。 通過差分結(jié)構(gòu)的設(shè)計可以在大范圍的溫度變化下保持良好的角度穩(wěn)定性，這樣就可以保證溫度的變化僅能影響到平臺的垂直方向定位，而對角度定位則沒有影響，在閉環(huán)下，可以保證系統(tǒng)的線性度和分辨率。 | ||
