28200 系列半矩形真空閘閥
HVA 不銹鋼閥體真空閘閥提供了真空閥門業(yè)小的內(nèi)部表面區(qū)域. 閥體和所有主要內(nèi)部部件在1100 ℃的真空爐中焊接的, 確保了大的完整性. 這就消除了虛漏和缺陷部分, 使在常規(guī)狀態(tài)下焊接出現(xiàn)的閥體變形的可能小化了. 爐內(nèi)釬焊的304不銹鋼減少了漏氣, 這就使系統(tǒng)在較短的時間里獲得基礎(chǔ)壓力. 在開啟位置, 密封墊O型圈*看不見, 防止了任何微?；蛘呓橘|(zhì)累加到該密封面。在關(guān)閉位置, 一個堅固的整體設(shè)計阻止了任何材料累積到閥動裝置后面, 這樣*的減少了維修和維護的需求. 這些真空閘閥設(shè)計專門改造以滿足機械接口和真空密封要求的產(chǎn)業(yè).
這款 28200 系列真空閘閥真空閥門/界面的設(shè)計融合了直接驅(qū)動的閘極. 直接驅(qū)動消除了機械聯(lián)動裝置并*的減少了內(nèi)部閥門配件使用. 真空閘閥閘板閥設(shè)計的明顯改善導(dǎo)致了超常的不停機工作時間周期和極低的微粒再生, 甚至是在使用了一百萬周期后。真空閘閥閥門已經(jīng)被測試了1000000周期, 沒有失敗. 在操作方面, 這款 28200 系列閥門真空閘閥非常安靜和可靠. 因為他們以更低的壓力密封, 更耐用, 并且需要一個*密封的壓力更小. 為了滿足mo塊化集成加工系統(tǒng)一些特殊需求, HVA 真空閥門真空閘閥專為在閥口另外一邊隔離真空壓強.
28200 系列半矩形真空閘閥特點
1. 幾乎沒有微粒產(chǎn)生
2. 平穩(wěn)操作, 無振動
3. 標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭
4. 百萬或者更多使用周期
28200 系列半矩形真空閘閥規(guī)格
連接形式： | 標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭 |
|---|---|
主體材料： | 不銹鋼 |
公稱通徑： | DN32*222-DN100*1250 mm |
漏率: | 2x10E-9 AtmCC/Sec |
壓力范圍: | 1x10E-9 Torr |
烘烤溫度: | 《150℃ |
適用介質(zhì)： | 水、蒸汽、空氣 |
密封形式： | 軟密封型 |
驅(qū)動方式： | 氣動 |
使用壽命: | 1000000+使用周期 |
28200 系列半矩形真空閘閥應(yīng)用
他們可以單個或者成雙使用以提供適當(dāng)?shù)耐ㄟ^或者密封系統(tǒng)的任何部分. 一個狹窄的輪廓設(shè)計, 包括兩個驅(qū)動器和控制器, 可以緊挨著中心, 加載互鎖真空室, 處理和進程室安裝.
28200 系列半矩形真空閘閥部件圖
