28200＆88200系列矩形真空板阀
28200＆88200系列矩形板阀是采用了直连驱动技术的接口阀，可靠使用寿命超过1百万次。HVA闸板阀于真空相关系统，起隔绝真空压力的作用。HVA真空闸板阀外形尺寸小，设计紧凑，可靠应用于生产线与过渡腔室（load-lock chamber），过渡腔室（load-lock chamber）与传输系统（handling system），传输系统（handling system）与工艺腔室（process chamber）等等，需要分隔真空压力的地方。
28200＆88200系列矩形真空板阀产品特点
1. 超百万次可靠运行寿命
2. 不产生粉末，颗粒，防尘设计
3. 阀动作平稳,振动和冲击小
4. 标准接口，或按客户要求定制
5. 阀体材料经过1E-6Torr,1100℃真空铜焊处理
6. 适用于1E-9Torr,200℃条件下
28200＆88200系列矩形真空板阀技术参数
连接形式： | 标准或定制法兰 |
|---|---|
主体材料： | 304 不锈钢/ AM-350 |
公称通径： | DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
漏率: | 2x10E-9 AtmCC/Sec |
压力范围: | 1x10E-9 Torr |
烘烤温度: | 《150℃ |
适用介质： | 水、蒸汽、空气 |
密封形式： | 软密封型 |
驱动方式： | 气动 |
使用寿命: | 1000000 启闭次数 |
28200＆88200系列矩形真空板阀订货号及2D & 3D 图
DN | Model |
|
| |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
mm | inch | Number | J (Bolted Body) | K (Clamped Body) | ||||
32 x 220 | 1.26 x 8.74 | 28212-0109RX_ | 2D | 3D | Quote | 2D | 3D | Quote |
32 x 332 | 1.26 x 13.07 | 28212-0113RX_ | 2D | 3D | Quote | 2D | 3D | Quote |
46 x 236 | 1.81 x 9.29 | 28212-0209RX_ | 2D | 3D | Quote | 2D | 3D | Quote |
50 x 336 | 1.97 x 13.23 | 28212-0213RX_ | 2D | 3D | Quote | 2D | 3D | Quote |
28200＆88200系列矩形真空板阀部件图
