產(chǎn)品名稱:
輪廓測定儀
產(chǎn)品應(yīng)用:
輪廓測定儀采用白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測量,測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,臺階高度,給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料,光學(xué)元件、陶瓷和*材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的、價格合理的計量方案。
技術(shù)參數(shù):
垂直測量范圍:27mm
垂直分辨率:<2nm
掃描速度:1m/s
橫向分辨率:5nm
可視區(qū)域:400*600mm
技術(shù)參數(shù):
垂直測量范圍:27mm
垂直分辨率:<2nm
掃描速度:20mm/s
橫向分辨率:0.1m
測量范圍:150mm×150mm
產(chǎn)品特性:
1.采用白光軸向色像差技術(shù),可獲得納米級的分辨率
2.測量具有非破壞性,測量速度快,精確度高
3.尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面
4.不受樣品反射率的影響
5.不受環(huán)境光的影響
6.測量簡單,樣品無需特殊處理
7.Z方向max測量范圍為27mm
8.測量范圍廣,可測透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)