serics 600DID氦離子色譜儀的特點(diǎn):
PPb級的高靈敏度
使用放電離子化檢測器(DID)
準(zhǔn)確度:±1% 滿里量程
經(jīng)過驗(yàn)證的可靠性和穩(wěn)定性
全自動(dòng)操作
操作人員少
已驗(yàn)證的設(shè)備設(shè)計(jì)
有保證的應(yīng)用
優(yōu)質(zhì)的解決方案
可根據(jù)客戶提出的要求而設(shè)計(jì)
serics 600DID氦離子色譜儀的應(yīng)用領(lǐng)域:
空分裝置
工業(yè)氣體生產(chǎn)商
N5N6N7級氣體生產(chǎn)
航天和航空工業(yè)
半導(dǎo)體工業(yè)
光源工業(yè)
電子氣體
的檢測原理:
放電離子化檢測器的結(jié)構(gòu)如圖6所示。該檢測器由電離室和放電室兩部分組成,兩室之間有狹路相通。當(dāng)在
放電室內(nèi)的兩個(gè)高壓電極上加以適量高壓電后,兩電極之間就會(huì)產(chǎn)生放電,從而得到一束高能量的紫外光輻射(
400-500nm)。高能紫外光被引入射向電離室內(nèi),在這過程中,高能光子直接照射樣品成份中被測雜質(zhì)分子,
使其電離形成離子,或者高能光子首先將載氣氦原子激發(fā)至亞穩(wěn)態(tài)(He*),然后具有較高能量的He*再與樣品
中雜質(zhì)分子發(fā)生非彈性碰撞并使其電離。此時(shí)在集電極上加以適當(dāng)電壓收集被電離的雜質(zhì)分子,并將其信號放大
記錄即得到被測成份的譜峰。由于光子具有較高能量(24.8ev),因此可使包括氖在內(nèi)的一切物質(zhì)分子電離,所
以,DID是一種高靈敏度、通用型檢測器。