軟X射線分析譜儀
通過組合新開發(fā)的衍射光柵和高靈敏度X射線CCD相機(jī),實(shí)現(xiàn)了*的能量分辨率。
和EDS一樣可以并行檢測(cè),并且能以0.3eV(費(fèi)米邊處Al-L基準(zhǔn))的*能量分辨率進(jìn)行分析,超過了WDS的能量分辨率。
系統(tǒng)簡(jiǎn)介
新開發(fā)設(shè)計(jì)的分光系統(tǒng),不需移動(dòng)衍射光柵或檢測(cè)器(CCD)就能同時(shí)獲取不同能量的譜圖。而且由于能量分辨率很高,還可以采集狀態(tài)分析分佈圖
SXES、WDS、EDS的比較
各種分光方法中氮化鈦樣品的譜圖
即使在WDS分析中氮化鈦的譜峰也發(fā)生重疊,需要采取去卷積的數(shù)學(xué)方法處理。如下圖所示,SXES具有很高的能量分辨率。
軟X射線分析譜儀比較表
特征 SXES EPMA(WDS) EDS
分辨率 0.3 eV
(費(fèi)米邊處 Al-L) 8 eV (FWHM@Fe-K) 120-130 eV
(FWHM@Mn-K)
化學(xué)結(jié)合狀態(tài)分析 可以 可以(主要是輕元素) 不可以
并行檢測(cè) 可以 不可以
(但分光譜儀臺(tái)數(shù)范圍即可) 可以
分光晶體和檢測(cè)器 衍射光柵+CCD 分光晶體+正比計(jì)數(shù)管 SDD
檢測(cè)器冷卻 珀?duì)柼鋮s 不需要 珀?duì)柼鋮s
檢測(cè)限(以B作為參考值) 20ppm 100ppm 5000ppm
鋰離子二次電池(LIB)分析實(shí)例
能觀察到LIB的充電量
輕元素的測(cè)試實(shí)例
SXES測(cè)試碳素化合物的實(shí)例
可以測(cè)試金剛石、石墨、聚合物的不同。
各種氮素化合物的測(cè)試實(shí)例
氮素也可以根據(jù)波形分析化學(xué)結(jié)合狀態(tài)。 硝酸鹽和氮化物的波形*不同,還能觀察到易受電子束損傷的銨鹽的*波形。