軟X射線分析譜儀 軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發(fā)的衍射光柵和高靈敏度X射線CCD相機,實現(xiàn)了高的能量分辨率。 和EDS一樣可以并行檢測,并且能以0.3eV(費米邊處Al-L基準(zhǔn))的高能量分辨率進行分析,超過了WDS的能量分辨率。
產(chǎn)品規(guī)格
能量分辨率0.3eV(Al-L 光譜圖73eV處測試)
獲取能量范圍:衍射光柵JS50XL的能區(qū)50-170eV
獲取能量范圍:衍射光柵JS50XL的能區(qū)70-210eV
分光譜儀艙安裝位置:
EPMA的WDS接口:NO.2接口(正面右側(cè))
FE-SEM的WDS接口(正面左后側(cè))
分光譜儀尺寸 W 168mm×D 348mm ×H 683mm
* 從接口包括CCD的距離
分光譜儀重量 25kg
適用機型
EPMA : JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM : JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F