掃描探針顯微鏡OLS4500 掃描探針顯微鏡OLS4500

OLS4500為您帶來(lái)解決方案

實(shí)現(xiàn)納米級(jí)觀測(cè)新型顯微鏡。不會(huì)丟失鎖定目標(biāo)。

電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器切換倍率和觀察方法

配有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡，并在電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了SPM單元?？梢詿o(wú)縫切換倍率和觀察方法，不會(huì)丟失觀察對(duì)象。此外，該款顯微鏡可以進(jìn)行納米級(jí)觀測(cè)。

涵蓋了低倍到高倍觀察，并配有多種觀察方法可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象。

可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此，*光學(xué)技術(shù)打造的光學(xué)顯微鏡帶來(lái)多種觀察方法，可以容易的發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象。此外，對(duì)于光學(xué)顯微鏡難以找到的觀察對(duì)象，還可以使用激光顯微鏡進(jìn)行觀察。在激光微分干涉（DIC）

觀察中，可以進(jìn)行納米級(jí)微小凹凸的實(shí)時(shí)觀察。

明視場(chǎng)觀察（IC元件）

微分干涉（DIC）觀

激光微分干涉（DIC）觀察

縮短從放置樣品到獲取影像的工作時(shí)間。

放置好樣品后，所有的操作都在1臺(tái)裝置上完成?？梢匝杆伲_的把觀察對(duì)象移到SPM顯微鏡下面，所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。

一體機(jī)的機(jī)型，所以無(wú)需重新放置樣品只要在1臺(tái)裝置上切換倍率、觀察方法就能夠靈活應(yīng)對(duì)新樣品。

OLS4500是把光學(xué)顯微鏡、激光顯微鏡、探針顯微鏡融于一體的一體機(jī)，所以無(wú)需重新放置樣品，即可自由切換3種顯微鏡進(jìn)行觀察和評(píng)價(jià)。這3種顯微鏡各自持有優(yōu)異的性能，所以能夠高效輸出結(jié)果。

OLS4500實(shí)現(xiàn)了無(wú)縫觀察和測(cè)量

【發(fā)現(xiàn)】可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象

使用光學(xué)顯微鏡的多種觀察方法， 迅速找到觀察對(duì)象

OLS4500采用了白色LED光源， 可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡， 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發(fā)揮了光學(xué)觀察的特長(zhǎng)， 除了常使用的明視場(chǎng)觀察（BF）以外， 還可以使用對(duì)微小的凹凸添加明暗對(duì)比， 達(dá)到視覺(jué)立體效果的微分干涉觀察（DIC）， 以及用顏色表現(xiàn)樣品偏光性的簡(jiǎn)易偏振光觀察。此外， OLS4500上還配有HDR功能（高動(dòng)態(tài)范圍功能）， 該功能使用不同的曝光時(shí)間拍攝多張影像后進(jìn)行合成， 來(lái)顯示亮度平衡更好、強(qiáng)調(diào)了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對(duì)象。

BF 明視場(chǎng)

常使用的觀察方法。在觀察中真實(shí)再現(xiàn)樣品的

顏色。適用于觀察有明暗對(duì)比的樣品。

DIC 微分干涉

對(duì)于在明視場(chǎng)觀察中看不到的樣品的微小高低差，

添加明暗對(duì)比使之變?yōu)榱Ⅲw可視。適用于觀察金

相組織、硬盤(pán)和晶圓拋光表面之類(lèi)鏡面上的傷痕

或異物等。

簡(jiǎn)易偏振光

照射偏振光（有著特定振動(dòng)方向的光線(xiàn)）， 使樣

品的偏光性變?yōu)槿庋劭梢暋＿m用于觀察金相組織、礦物、半導(dǎo)體材料等。

HDR　高動(dòng)態(tài)范圍

使用不同曝光時(shí)間拍攝多張影像并進(jìn)行影像合成，

可以觀察平衡度較好的明亮部分和陰暗部分。此

外，還可以強(qiáng)調(diào)紋理（表面狀態(tài)），進(jìn)行更精細(xì)的

觀察。

使用激光顯微鏡，可以觀察到光學(xué)顯微鏡中難以觀察到的樣品影像

OLS4500采用了短波長(zhǎng)405 nm的激光光源和高N.A.的物鏡， 實(shí)現(xiàn)了優(yōu)異的平面分辨率。能以鮮明的影像呈現(xiàn)出光學(xué)顯微鏡中無(wú)法看到的觀察對(duì)象。在激光微分干涉（DIC）模式中還可以實(shí)時(shí)觀察納米級(jí)的微小凹凸。

明視場(chǎng)觀察（玻璃板上的異物）

激光微分干涉觀察

【接近】迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象，在SPM上正確完成觀察

實(shí)現(xiàn)了無(wú)縫觀察，不會(huì)丟失觀察對(duì)象

OLS4500在電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了涵蓋低倍到高倍觀察的4種物鏡， 以及小型SPM單元。在光學(xué)顯微鏡或激光顯微鏡的50倍、100倍的實(shí)時(shí)觀察中， 由于SPM掃描范圍一直顯示于視場(chǎng)中心， 所以把觀察目標(biāo)點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)該位置后， 只要切換到探針顯微鏡， 就能夠正確接近觀察對(duì)象。因此， 只需1次SPM掃描就能獲取目標(biāo)影像， 從而能夠提高工作效率并降低微懸臂的損耗。

不會(huì)在SPM觀察中迷失的、可切換式向?qū)Чδ?/p>

使用探針顯微鏡開(kāi)始觀察之前， 可以在向?qū)М?huà)面上設(shè)置所需的條件， 如安裝微懸臂、掃描范圍等。所以經(jīng)驗(yàn)較少的操作者也能安心完成操作。

【納米級(jí)測(cè)量】簡(jiǎn)單操作，可以迅速獲得測(cè)量結(jié)果

新開(kāi)發(fā)的小型SPM測(cè)頭， 減少了影像瑕疵

新開(kāi)發(fā)的小型SPM測(cè)頭

OLS4500采用了裝在電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器上的物鏡型SPM測(cè)頭。同軸、共焦配置了物鏡和微懸臂前端，所以切換SPM觀察時(shí)不會(huì)丟失觀察目標(biāo)點(diǎn)。不僅如此，新開(kāi)發(fā)的小型SPM測(cè)頭提高了剛性，所以與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，減少了影像瑕疵并提高了可追蹤性。

使用向?qū)Чδ埽杂煞糯骃PM影像

使用向?qū)Чδ埽?可以觀察時(shí)進(jìn)一步放大探針顯微鏡拍到的影像的所需部分倍率。只要在影像上用鼠標(biāo)指針設(shè)置放大范圍并掃描， 就可以獲取所需的SPM影像?？梢宰杂稍O(shè)置掃描范圍， 所以大幅度提高了觀察和測(cè)量的效率。

向?qū)Чδ茉?0μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范圍

優(yōu)異的分析功能， 應(yīng)對(duì)各種測(cè)量目的

曲率測(cè)量（硬盤(pán)的傷痕）

OLS4500能夠根據(jù)您的測(cè)量目的分析在各種測(cè)量模式中獲取的影像，并以CSV格式輸出測(cè)量結(jié)果。OLS4500有以下分析功能。

• 截面形狀分析（曲率測(cè)量、夾角測(cè)量）

• 粗糙度分析

• 形態(tài)分析（面積、表面積、體積、高度、柱狀值、承載比）

• 評(píng)價(jià)高度測(cè)量（線(xiàn)、面積）

• 粒子分析（選項(xiàng)功能）

跟從向?qū)М?huà)面的指示， 可輕松操作的6種SPM測(cè)量模式

接觸模式

控制微懸臂與樣品之間作用的排斥力為恒定的同時(shí)， 使微懸臂進(jìn)行靜態(tài)掃描， 在影像中呈現(xiàn)樣品的高度。還可以進(jìn)行彎曲測(cè)量。

金屬薄膜

動(dòng)態(tài)模式

使微懸臂在共振頻率附近振動(dòng)， 并控制Z方向的距離使振幅恒定， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品高度。特別適用于高分子化合物之類(lèi)表面柔軟的樣品及有粘性的樣品。

鋁合金表面

相位模式

在動(dòng)態(tài)模式的掃描中， 檢測(cè)出微懸臂振動(dòng)的相位延遲?？梢栽谟跋裰谐尸F(xiàn)樣品表面的物性差。

高分子薄膜

電流模式

對(duì)樣品施加偏置電壓，檢測(cè)出微懸臂與樣品之間的電流并輸出影像。此外，還可以進(jìn)行I/V測(cè)量。

Si電路板上的SiO2圖案樣品。高度影像（左）中顯示為黃色的部分是SiO2。在電流影像（右）中顯示 為藍(lán)色（電流不經(jīng)過(guò)的部分）。通過(guò)上圖，可以明確電路板中也存在電流不經(jīng)過(guò)的部分。

表面電位模式（KFM）

使用導(dǎo)電性微懸臂并施加交流電壓， 檢測(cè)出微懸臂與樣品表面之間作用的靜電， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的電位。也稱(chēng)作KFM（Kelvin Force Microscope）。

磁帶樣品。在電位影像中可以看出數(shù)百mV的電位差分布于磁帶表面。這些電位差的分布，可以認(rèn)為

是磁帶表面的潤(rùn)滑膜分布不均勻。

磁力模式（MFM）

在相位模式中使用磁化后的微懸臂進(jìn)行掃描， 檢測(cè)出振動(dòng)的微懸臂的相位延遲， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的磁力信息。也稱(chēng)作MFM（Magnetic Force Microscope）。

硬盤(pán)表面樣品?？梢杂^察到磁力信息。

裝配了激光掃描顯微鏡，靈活應(yīng)對(duì)多種樣品

輕松檢測(cè)85°尖銳角

采用了有著高N.A. 的物鏡和光學(xué)系統(tǒng)（能限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4500 可以精確地測(cè)量一直以來(lái)無(wú)法測(cè)量的有尖銳角的樣品。

LEXT 物鏡

有尖銳角的樣品（剃刀）

高度分辨率10 nm，輕松測(cè)量微小輪廓

由于采用405 nm的短波長(zhǎng)激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡， OLS4500達(dá)到了0.12 μm的平面分辨率。因此， 可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測(cè)量。結(jié)合高精度的光柵讀取能力和奧林巴斯*的亮度檢測(cè)技術(shù)， OLS4500可以分辨出亞微米到數(shù)百微米范圍內(nèi)的高度差。此外， 激光顯微鏡測(cè)量還保證了測(cè)量?jī)x器的兩大指標(biāo)——“正確性”（測(cè)量值與真正值的接近程度）和“重復(fù)性”（多次測(cè)量值的偏差程度）的性能。

0.12μm行間距

高度差標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm高度測(cè)量中的檢測(cè)

從大范圍拼接影像中目標(biāo)區(qū)域

高倍率影像容易使視場(chǎng)范圍變小，而通過(guò)設(shè)置，OLS4500的拼接功能可以拼接625幅影像，從而能夠獲得高分辨率的大范圍視圖數(shù)據(jù)。不僅如此，還可以在該大范圍視圖上進(jìn)行3D顯示或3D測(cè)量。