稀释气质量流量计可控制到0-10SLM；
源气质量流量计可控制到0-100SCCM；
2路校准口入口和1路吹扫口；
1路稀释气入口，3路输出口和1路排空口；
42个按键薄膜键盘；
8位数字输入/输出，1路串行输出；
彩色大屏显示，
仪器特点：
稀释气质量流量计可控制到0-10SLM；
源气质量流量计可控制到0-100SCCM；
2路校准口入口和1路吹扫口；
1路稀释气入口，3路输出口和1路排空口；
42个按键薄膜键盘；
8位数字输入/输出，1路串行输出；
彩色大屏显示，
性能参数：
稀释入口：1路标准；
源气入口：1路标准，1路吹扫；
稀释流量：0-10SLM(0-20SLM可选)；
源气流量：0-100SCCM（0-2SLM可选）；
流量精度：<1%FS；
流量重复：<±0.15%FS；
线 性：<±0.5%FS；
入口压力：12-35PSIG；
集成输出：3路输出，1路放空（1路渗透端可选）；
操 作：42按键薄膜键盘手动输入或外接键盘；
校准定义：20个工厂配置流路，每个流路可大20个线性点；
校准类型：稀释气，臭氧，GPT；
气体定义：1路稀释气，20路源气；
自动校准：可驱动20路定时程序，用户可自定义；
数字输入/输出：可使用触点触发或TTL逻辑控制的8位校准功能；
通 讯：RS232,以太网TCP/IP可选；
温 度：5-40℃；
外形尺寸：156mm（H）×364mm(W)×316 mm (D)；
重 量：8.6kg；
电 源：98-264VAC，100VA，50/60HZ。
