稀释气质量流量计可控制到0-10SLM；
源气质量流量计可控制到0-100SCCM；
4路校准气入口和1路吹扫口；
1路稀释气入口，5路输出口和1路排空口；
55个按键薄膜键盘；
24位数字输入/输出，
2路串行通讯输出，RS232输出；
大而明亮的彩色显示器；
外部PC键盘接入端口；
并行打印端口；
空气源控制端口。
仪器特点：
稀释气质量流量计可控制到0-10SLM；
源气质量流量计可控制到0-100SCCM；
4路校准气入口和1路吹扫口；
1路稀释气入口，5路输出口和1路排空口；
55个按键薄膜键盘；
24位数字输入/输出，
2路串行通讯输出，RS232输出；
大而明亮的彩色显示器；
外部PC键盘接入端口；
并行打印端口；
空气源控制端口。
性能参数：
稀释入口：1路标准；
源气入口：4路标准，1路吹扫；
稀释流量：0-10SLM（0-20SLM可选）；
源气流量：0-100SCCM/0-10000SCCM；
流量精度：≤±1%FS；
流量重复：≤±0.15%FS；
线 性：≤±0.5%FS；
入口压力：20-35 PSIG；
内置臭氧发生器参数：
输出：5SLPM下0.05-1.5ppm；
精度：1%SP或5SLPM下2ppb；
流量：100±1 SCCM；
紫外灯温度：50±0.1℃。
内置紫外吸收光度计参数：
量程：0-0.5，1.0，2.0ppm；
线性：±1ppb或±1%FS；
精度：±1ppb；
零点漂移：<±1ppb/24小时或30天；
流速：1.0 LPM；
模拟输出：0-0.1/1/5V。
内置稀释炉参数：
材质：玻璃或特氟龙；
尺寸：1个稀释管；
可调温度：高于环境温度5度到65度；
温度精度：<±0.1℃；
操作：55个按键，键盘或串行端口；
校准定义：20个工厂定义流路；
校准类型：气体稀释，臭氧，GPT；
气体定义：2个稀释气，20个源气；
自动校准：20个程序驱动定时，
7天事件，用户可自定义；
