大負載型壓電納米偏轉(zhuǎn)鏡采用壓電陶瓷驅(qū)動的二維納米級精密光束壓電偏擺鏡，壓電偏轉(zhuǎn)鏡內(nèi)部使用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，壓電偏轉(zhuǎn)鏡采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點。
大負載型壓電納米偏轉(zhuǎn)鏡產(chǎn)品特性
1.采用高性能的壓電陶瓷驅(qū)動;
2.具有開環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號;
3.采用數(shù)控、線切割等加工工藝，嚴格保證構(gòu)結(jié)精度;
4.采用計算機有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計方法設(shè)計微動結(jié)構(gòu)；
5.采用*的表面處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力；
6.超高性能的開/閉環(huán)掃描平臺。
技術(shù)參數(shù);
| 轉(zhuǎn)軸數(shù) | 2軸 |
| 轉(zhuǎn)角范圍* | ＞ ±1.5° 機械角 |
| 內(nèi)置傳感器 | 非接觸軸角測量 |
| 非線性 | ≤ 0.3% |
| 角分辨率* | ≤ ±2μrad |
| 重復(fù)精度* | ≤ ±2μrad |
| 大角加速度 | ≥ 2000rad/s^2 |
| 帶寬（大角度）* | 80Hz@±1° |
| 帶寬（小角度）* | 200Hz@±0.15° |
| 工作溫度 | -20~+60°C |
| 存儲溫度 | 0~+80°C |
| 質(zhì)量 | 500g |
| 尺寸** | 70×70 ×45mm |
| 控制器 | |
| 常值功耗 | 15 W |
| 工作電壓 | +28V |
| 質(zhì)量 | 1600g |
| 尺寸** | 152×152×72mm |
應(yīng)用
• 光纖端面檢測 • 光纖對接 • 硬盤測試 • 電化學加工 • 3D錫膏檢測
上海納動納米位移技術(shù)有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機械、精密驅(qū)動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案，滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運動控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。
上海納動納米位移技術(shù)有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉(zhuǎn)臺、納米級光束偏轉(zhuǎn)鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動/控制器、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。
壓電Tip / Tilt平臺內(nèi)部使用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，補償量小，確保了擺鏡的運動精度和超高的穩(wěn)定性。
平臺采用緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計且內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。
緊湊型設(shè)計，可更好的集成于光學系統(tǒng)中。內(nèi)部有一個或多個壓電陶瓷，由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運動。納動設(shè)計和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈技術(shù)將運動裝置連接到固定基座上。
納米位移臺內(nèi)置高精密傳感器，閉環(huán)控制時，傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下，可以實現(xiàn)納米級別、亞納米級別的分辨率。
