芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺特性:
• ±1.1mrad/軸的θx, θy偏擺運動及Z向110μm直線運動 • 閉環(huán)定位精度高
• 80×80mm大通光孔 • 分辨率高 • 外形超薄 • 響應速度快
芯明天三維θxθyZ向壓電偏擺臺外觀形狀
外觀形狀 | 產(chǎn)品運動示意圖 | 閉環(huán)曲線 |
閉環(huán)傳感精度高 | 頻率負載曲線 | 仿真分析 | |
P51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺,偏轉(zhuǎn)行程為±1.1mrad,Z軸直線行程可達110μm。 P51偏轉(zhuǎn)臺臺體采用無回差柔性鉸鏈導向結(jié)構(gòu),采用有限元分析進行優(yōu)化,具有超高的剛度以及導向精度。 可選擇內(nèi)置精密傳感器進行全閉環(huán)位置反饋,確保其具有良好的運動控制精度,直線運動分辨率可達到亞納米級、偏轉(zhuǎn)分辨率達亞微弧度、定位穩(wěn)定時間為毫秒量級。 | 通過有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導向機構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺。有限元分析技術用于設計運動方向上zui高的剛度,并減少角度偏差。鉸鏈部分允許*精度的運動,因為鉸鏈機構(gòu)無間隙、無摩擦。 |
超薄的設計適用于顯微應用且可負載大鏡片 | 產(chǎn)品測試 |
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P51壓電偏轉(zhuǎn)臺中心大通光孔達80×80mm,非常適用于需要透射光的應用,負載后仍可高動態(tài)高精度的掃描。 P51系列偏擺/傾斜、升降臺是專門為對準、納米聚焦、計量等應用設計的,臺體非常薄,厚度僅為20mm,非常易于集成到高精度顯微鏡中。 | ||
校準調(diào)測 | 震動實驗 |
3.三維θxθyZ向壓電偏擺臺
驅(qū)動方式
P51壓電偏轉(zhuǎn)臺θxθy兩軸采用90。相差輸入,并配合Z軸升降運動,再通過控制電壓的大小,對于固定的光路距離,可進行一定范圍的錐形范圍掃描,如下右圖所示。
應用
• 光束掃描 • 激光合束對準與激光致盲 • 干涉/計量 • 空間擾動模擬系統(tǒng) • 光路調(diào)整 • 掩模與晶片位置調(diào)整 • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術 • 表面結(jié)構(gòu)分析