美國(guó)MEMS硅壓力傳感器特性參數(shù)：
供電范圍：5±0.25VDC
輸出信號(hào)：0.5~4.5VDC 比例輸出
電氣連接：電線加MOLEX插頭
壓力接口：7/16-20 UNF
壓力范圍：500
壓力單位：Psi
壓力類(lèi)型：表壓
線性精度：±0.5%FS
介質(zhì)兼容性：與17-4PH不銹鋼或316不銹鋼兼容的各種介質(zhì)
壓力循環(huán)：>107次滿壓循環(huán)
過(guò)載壓力：2倍額定壓力
破壞壓力：5倍額定壓力
-20℃~85℃工作溫度范圍
0℃~55℃溫度補(bǔ)償范圍
美國(guó)MEMS硅壓力傳感器原理介紹：
壓電式加速度傳感器是一種常用的加速度計(jì)。它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、重量輕、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)異的特點(diǎn)。壓電式加速度傳感器在飛機(jī)、汽車(chē)、船舶、橋梁和建筑的振動(dòng)和沖擊測(cè)量中已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用，特別是航空和宇航領(lǐng)域中更有它的特殊地位。壓電式傳感器也可以用來(lái)測(cè)量發(fā)動(dòng)機(jī)內(nèi)部燃燒壓力的測(cè)量與真空度的測(cè)量。也可以用于軍事工業(yè)，例如用它來(lái)測(cè)量槍炮在膛中擊發(fā)的一瞬間的膛壓的變化和炮口的沖擊波壓力。它既可以用來(lái)測(cè)量大的壓力，也可以用來(lái)測(cè)量微小的壓力。壓電式傳感器也廣泛應(yīng)用在生物醫(yī)學(xué)測(cè)量中，比如說(shuō)心室導(dǎo)管式微音器就是由壓電傳感器制成的，因?yàn)闇y(cè)量動(dòng)態(tài)壓力是如此普遍，所以壓電傳感器的應(yīng)用就非常廣泛。
特點(diǎn)：
1、測(cè)量范圍光精度高，測(cè)力傳感器可測(cè)0.01--1000000N的力，精度可達(dá)到0.05%FS以上；壓力傳感器可測(cè)0.1-1000000的壓力，精度可達(dá)到0.1%FS。
2、性能穩(wěn)定可靠，使用壽命長(zhǎng)，如稱重式機(jī)械杠桿稱，由于杠桿、刀口等部分互相摩擦產(chǎn)生損耗和變形，欲*保持其精度是相當(dāng)困難的，采用電阻應(yīng)變式稱重傳感器制成的電子泵、汽車(chē)衡、軌道衡等，能在惡劣的環(huán)境條件下*穩(wěn)定工作。
3、頻率響應(yīng)特性*。壓力傳感器一般電阻應(yīng)變計(jì)響應(yīng)時(shí)間為0.01MS，半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)可達(dá)到0.001MS如能在彈性原件上采取措施則由他們構(gòu)成的應(yīng)變。
式傳感器可測(cè)幾十千赫甚*百千赫的動(dòng)態(tài)過(guò)程。
