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儀表網(wǎng)>全部分類 >實驗儀器 >制樣/消解設備 >電子束刻蝕系統(tǒng) 返回產(chǎn)品中心
電子束刻蝕系統(tǒng)

電子束曝光技術是在計算機控制下,按照加工要求的圖形,利用聚焦后的電子束對基片上的抗蝕劑進行曝光,在抗蝕劑中產(chǎn)生具有不同溶解性能的區(qū)域,根據(jù)不同區(qū)域的溶解特性,利用具有選擇性的顯影劑進行顯影,溶解性強...

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