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熱式氣體質(zhì)量流量計

熱式氣體質(zhì)量流量計是利用熱擴(kuò)散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準(zhǔn)級熱電阻（RTD）組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當(dāng)這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應(yīng)被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。1概述根據(jù)熱效應(yīng)的金氏定律,加熱功率P、溫度差△T（TRH-TRMG）與質(zhì)量流量Q有確定的數(shù)學(xué)關(guān)系式。P/△T=K1+K2f（Q）K3K1、K2、K3是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)。熱式氣體質(zhì)量流量計*的溫度差測量方式克服

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