真空開關(guān)是一種檢測真空度范圍的開關(guān),又稱真空繼電器。其作用是:當(dāng)實(shí)際工作中所產(chǎn)生的真空度達(dá)到規(guī)定要求時(shí),自動開閉控制電路,發(fā)出電信號,指令真空吸附機(jī)構(gòu)正常動作。它屬于可靠性、安全性元件。真空開關(guān)分為機(jī)械式、半導(dǎo)體式和氣橋式三種類型。機(jī)械式真空開關(guān)是利用機(jī)械變位來確定真空壓力的變化,如膜片式真空開關(guān)。半導(dǎo)體式真空開關(guān)是利用半導(dǎo)體壓力傳感器來檢測真空壓力的變化,并能夠?qū)z測到的壓力信號直接轉(zhuǎn)換成電氣信號。中文名真空開關(guān)外文名Vacuumswitch過程自動測控系統(tǒng)內(nèi)的壓力原理利用壓力傳感器原
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