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氣體質(zhì)量流量計(jì)既的原理是什么

2022-08-12標(biāo)簽:質(zhì)量流量計(jì)

  氣體質(zhì)量流量計(jì)既可進(jìn)行氣體流量計(jì)量工作,也可用于過程控制領(lǐng)域。它引進(jìn)美國先進(jìn)技術(shù)生產(chǎn),無須溫壓補(bǔ)償,直接測出流體的質(zhì)量流量。工作原理氣體流量計(jì)采用熱擴(kuò)散原理,熱擴(kuò)散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。
 
  小流量氣體質(zhì)量流量計(jì)是自主研制的MEMS流量傳感芯片,其原理是利用流動氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系,在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。該流量計(jì)同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測量。
 
  當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時(shí),在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過傳感器時(shí),氣體的流動將破壞該溫度場的分布,形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場分布。
 
  微機(jī)電系統(tǒng)流量計(jì)芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號,由一個專門的電路變送器對此信號進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的擾動不同,因而能測量氣體的質(zhì)量流量或總流量。
 
  質(zhì)量流量計(jì)通常分為氣體質(zhì)量流量計(jì)、差壓式質(zhì)量流量計(jì)和科里奧利質(zhì)量流量計(jì)。
 
  簡單來說,氣體質(zhì)量流量計(jì)通常測量旁路毛細(xì)管內(nèi)通過氣體的前后熱量變化來測量質(zhì)量流量;壓差式質(zhì)量流量計(jì)通過測量做層流運(yùn)動的氣體的兩點(diǎn)之間的壓力差來計(jì)算流量;科里奧利質(zhì)量流量計(jì)則是通過測量兩個并排U形管振動前后的差異來測量氣體的質(zhì)量流量。
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    雙溫度補(bǔ)償、高壓補(bǔ)償技術(shù),提高現(xiàn)場使用性能
    動態(tài)振動平衡(DVB)匹配技術(shù),提升系統(tǒng)穩(wěn)定性
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    熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)壓縮空氣氧氣氮?dú)馓烊粴?br>結(jié)構(gòu)說明:
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    B)一體型滿管式可以采用法蘭連接、螺紋連接以及卡裝連接。
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