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氟化氫(HF)濃度報警器的安裝位置需結(jié)合其物理化學(xué)特性(密度大于空氣、強腐蝕性)和泄漏風(fēng)險區(qū)域綜合設(shè)計,具體原則如下:
離地面30-60cm:因氟化氫密度比空氣大,易積聚在低處,需重點監(jiān)測近地面層。
工藝設(shè)備周邊:如蝕刻機、反應(yīng)釜、儲罐閥門、管道接口等易泄漏位置。
通風(fēng)不足區(qū)域:避免安裝于強通風(fēng)口附近(可能稀釋氣體),但確保檢測點位于氣體擴散路徑上。
出入口與通道:確保人員疏散路徑被監(jiān)控。
控制室/休息區(qū):防止氣體通過空調(diào)系統(tǒng)擴散至非工藝區(qū)域。
參考標(biāo)準(zhǔn):如OSHA 1910.119(美國)或GBZ 2.1(中國),要求報警器覆蓋所有潛在泄漏源半徑1-2米范圍。
多層級監(jiān)測:采用固定式+便攜式結(jié)合,固定式覆蓋高風(fēng)險區(qū),便攜式用于巡檢或臨時作業(yè)。
腐蝕性防護:選用耐腐蝕外殼(如聚四氟乙烯涂層),避免直接接觸液體氟化氫。
防爆設(shè)計:在易燃區(qū)域選擇防爆型報警器(符合ATEX或IECEx標(biāo)準(zhǔn))。
區(qū)域 | 安裝位置 | 目的 |
---|---|---|
氟化氫儲罐區(qū) | 罐體底部四周、管道連接處 | 監(jiān)測儲罐泄漏 |
半導(dǎo)體蝕刻車間 | 設(shè)備排氣口、操作臺下方 | 捕捉工藝泄漏 |
緊急出口通道 | 距地面40cm墻面 | 保障疏散安全 |
實驗室通風(fēng)櫥 | 櫥內(nèi)下部 | 防止實驗過程逸出 |
通過科學(xué)規(guī)劃安裝位置,可最大限度提升氟化氫泄漏的預(yù)警效能,為應(yīng)急處置爭取關(guān)鍵時間。
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