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手機(jī)、平板電腦在生活中使用頻率很高,其顯示屏的輻射影響人的眼睛健康。 ITO涂層是提高屏幕或保護(hù)膜的可見光通過率的同時(shí)阻止有害射線通過的高科技涂膜。
若用傳統(tǒng)的X射線熒光膜厚儀器測(cè)量ITO層的厚度,將出現(xiàn)以下困難:
1. 基體材料和ABHC層是不可元素。 2. 樣品總厚度很薄,整體被穿透。 3. ITO層太薄,超出一般XRF檢測(cè)下限。 4. 樣品為雙面涂覆,無法分辨層次信號(hào)。
XRF是成熟而高效元素分析方法,因其快速和低成本而廣泛使用于工業(yè)產(chǎn)品檢測(cè)。
日立儀器的EA1000VX元素分析儀采用的VOTEX熒光檢測(cè)器,具有30萬CPS計(jì)數(shù)率,對(duì)超薄鍍層、涂層具有非常靈敏的信號(hào)檢測(cè)能力。儀器標(biāo)配有5mm光斑,可大大增加涂層信號(hào)的激發(fā)能力(一般膜厚儀只有0.2mm光斑)。
■ 機(jī)型:EA1000VX
■ 樣品:某品牌護(hù)眼手機(jī)屏保膜
■ 測(cè)量方法:EA1000VX是從下向上照射,樣品倉(cāng)頂部有Al板作為背景補(bǔ)償,解決樣品穿透問題;利用EA1000VX高計(jì)數(shù)率和大光斑解決ITO太薄信號(hào)不足問題;利用FP法樣品修正解決雙面涂覆問題。
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