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沖擊加速度傳感器主要采用以下處理方法。采用注入、推進(jìn)和氧化的創(chuàng)新工藝制造壓敏電阻；采用Kho各向異性深度刻蝕形成塊狀；使用AES釋放光束和質(zhì)量塊；通過粘接工藝獲得所需的“三明治”結(jié)構(gòu)。

電容式?jīng)_擊加速度傳感器廣泛應(yīng)用于發(fā)動(dòng)機(jī)、數(shù)控車床等工業(yè)領(lǐng)域。具有電路結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、頻率范圍寬（約0~450hz）、線性度小于1%、靈敏度高、輸出穩(wěn)定、溫度漂移小、測(cè)量誤差小、穩(wěn)態(tài)響應(yīng)、輸出阻抗低、輸出電量與振動(dòng)加速度關(guān)系簡(jiǎn)單方便等優(yōu)點(diǎn)，而且計(jì)算簡(jiǎn)單。具有很高的實(shí)際應(yīng)用價(jià)值。

電容式?jīng)_擊加速度傳感器原理：

電容式?jīng)_擊加速度傳感器是一種基于電容原理的可變電極間距電容傳感器。一個(gè)電極固定，另一個(gè)電極為彈性膜片。彈性膜片在外力（氣壓、液壓等）作用下發(fā)生位移，改變電容。該傳感器可以測(cè)量氣流（或液流）的振動(dòng)速度（或加速度），并進(jìn)一步測(cè)量壓力。

電容式加速度計(jì)的力學(xué)模型：

從力學(xué)角度來看，電容式?jīng)_擊加速度傳感器可以看作是一個(gè)質(zhì)量彈簧阻尼系統(tǒng)。加速度通過質(zhì)量塊形成慣性力并作用于系統(tǒng)。

電容式?jīng)_擊加速度傳感器的結(jié)構(gòu)：

目前，電容式?jīng)_擊加速度傳感器大多由三部分硅晶片組成，中間層是由雙層SOI硅片制成的可移動(dòng)電容板。中間的可動(dòng)電容板由八個(gè)彎曲彈性連接梁支撐，夾在上下兩個(gè)固定電容板之間。提高精度的一個(gè)非常重要的措施是采用差分測(cè)量方法，這大大提高了信噪比。因此，幾乎所有的電容式MEMS沖擊加速度傳感器都采用差分結(jié)構(gòu)。

MEMS加速度計(jì)使用多種材料，不同的零件可能使用不同的材料。例如，用作襯底的襯底材料、用作掩模的掩模材料、用于表面微加工的犧牲層材料等。微加速度計(jì)常用的材料有單晶硅、二氧化硅、碳化硅、氮化硅、多晶硅，在設(shè)計(jì)過程中，需要根據(jù)其物理化學(xué)性質(zhì)及其在加速度計(jì)中的作用，綜合考慮使用哪種材料，哪種零件不固定。由于傳感器的動(dòng)態(tài)要求相對(duì)較高，因此在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和獲得結(jié)構(gòu)尺寸后，有必要進(jìn)行有限元分析。

利用有限元分析軟件ANSYS對(duì)加速度計(jì)模型進(jìn)行分析，得出以下結(jié)果：

（1） 通過靜力分析，可以發(fā)現(xiàn)承受很大應(yīng)力的部分。

（2） 通過模態(tài)分析，得到結(jié)構(gòu)的固有頻率和各固有頻率下的振型。

（3） 通過瞬態(tài)動(dòng)力分析，可以得到結(jié)構(gòu)對(duì)外界激勵(lì)的響應(yīng)。

通過以上有限元分析結(jié)果，可以進(jìn)一步改進(jìn)設(shè)計(jì)，使所設(shè)計(jì)的加速度計(jì)具有更好的性能。