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中山大學研制出超高靈敏度光學超聲傳感器陣列

來源:深圳市森瑟科技發(fā)展有限公司   2025年03月10日 07:28  

近日,中山大學電子與信息工程學院(微電子學院)教授李朝暉和副教授沈樂成率領(lǐng)的研究團隊基于硫系微納加工平臺,成功研制出了包含15個微腔的超高靈敏度光學超聲傳感器陣列,并融合新型通信算法數(shù)字光頻梳技術(shù),開展基于硫系片上陣列器件結(jié)構(gòu)的并行信號解調(diào)及光聲計算成像相關(guān)研究。

近年來,李朝暉/沈樂成團隊一直致力于搭建面向硫系微納器件的制備平臺,并依此開展多物理場的傳感與成像應(yīng)用研究。


在算法研究方面,他們提出了基于光信息處理算法的數(shù)字光頻梳技術(shù),具有高效、大帶寬以及多維解調(diào)等優(yōu)勢,并結(jié)合光學微腔實現(xiàn)雙共振模式下的超聲信號解調(diào);在技術(shù)創(chuàng)新方面研發(fā)了具有高調(diào)制效率的非懸浮硫系聲光調(diào)制器;在成像應(yīng)用與調(diào)控方面開展了面向生物醫(yī)療的高通量全息成像和高速光場調(diào)控。這些研究成果表明光信息處理技術(shù)與新型硫系材料器件的結(jié)合在生物成像、醫(yī)療傳感等方面具有巨大的潛力和前景。


基于上述積累,該團隊近日研制出包含15個微腔的超高靈敏度光學超聲傳感器陣列。該微環(huán)傳感器陣列具有高靈敏度、大帶寬和小尺寸等優(yōu)點,其中單個微環(huán)傳感器具有175 MHz(-6 dB)的檢測帶寬和2.2?mPaHz?1/2的噪聲等效壓力,性能指標?;诳烧{(diào)的數(shù)字光頻梳技術(shù),研究團隊還研發(fā)了一套可與微環(huán)傳感器陣列相匹配的高性能并行信號檢測方案,對高速動態(tài)粒子、靜態(tài)葉脈和活體斑馬魚等展示了光聲計算成像結(jié)果。



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