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超聲諧振驅(qū)動原理的直線與360°旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)!

來源:哈爾濱芯明天科技有限公司   2024年06月17日 10:42  
利用超聲諧振驅(qū)動原理的壓電馬達(dá),其基本工作原理就是利用壓電材料的逆壓電效應(yīng),使其能產(chǎn)生超聲波頻率的機械振動,再通過摩擦驅(qū)動的結(jié)構(gòu)設(shè)計,從而驅(qū)動移動臺做旋轉(zhuǎn)運動或直線運動。
超聲是一種超出人聽覺范圍外的高頻振動,因此超聲壓電馬達(dá)具有噪聲小的特點。此外,它還具有結(jié)構(gòu)小,響應(yīng)速度快,可斷電自鎖等優(yōu)點。在精密加工測量儀器、半導(dǎo)體加工設(shè)備、醫(yī)療、航空航天等高技術(shù)領(lǐng)域應(yīng)用前景廣闊。

 

超聲諧振驅(qū)動原理的直線與360°旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)!

不同壓電馬達(dá)的運動原理

 

 

芯明天超聲諧振驅(qū)動壓電馬達(dá)超聲諧振驅(qū)動原理的直線與360°旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)!

01 N59系列直線壓電馬達(dá)

產(chǎn)品外觀

超聲諧振驅(qū)動原理的直線與360°旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)!

產(chǎn)品特點

• 一維X向運動                
• 速度達(dá)25mm/s
• 分辨率達(dá)50nm
• 斷電自鎖 

產(chǎn)品應(yīng)用

• 光學(xué)儀器領(lǐng)域
• 精密儀器領(lǐng)域
• 醫(yī)療器械
• 微劑量注射器
• 小負(fù)載、大行程納米定位
• 科學(xué)研究
• 光纖對接
• 微細(xì)加工
• 原子力顯微鏡
• 半導(dǎo)體的精密定位和微納操作等

技術(shù)參數(shù)

型號
N59.9K
運動自由度
X
標(biāo)稱行程范圍
9 或 ±4.5mm
速度上限
25mm/s
分辨率
50nm
負(fù)載能力
0.2kg
工作溫度
0~50℃
質(zhì)量
4g
材質(zhì)
鋁,不銹鋼
電纜長度
0.1m

 


02 N69系列旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)

產(chǎn)品外觀

超聲諧振驅(qū)動原理的直線與360°旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)!

產(chǎn)品特點
• 360°雙向旋轉(zhuǎn)運動
• 速度可達(dá)220rpm
• 斷電自鎖
• 真空版本可選

產(chǎn)品應(yīng)用

• 光學(xué)儀器領(lǐng)域
• 精密儀器領(lǐng)域
• 醫(yī)療器械
• 微劑量注射器
• 半導(dǎo)體技術(shù)
• 圖像處理
• 納米計量
• 光學(xué)儀器設(shè)備制造
• 干涉儀等

技術(shù)參數(shù)

型號
N69.K2
運動自由度
360°雙向
最大速度
220rpm
分辨率
30μrad
扭矩
1mN·m
軸向負(fù)載力
0.2kg
工作溫度
0~50℃
質(zhì)量
3.5g
材質(zhì)
鋼、鋁
電纜長度
0.1m

 


配套控制器

E66.A2K-H1板卡式壓電控制器可控制N69系列和N59系列超聲壓電馬達(dá),單通道開環(huán)驅(qū)動,尺寸為38mm×27mm×12mm,可外部輸入PWM信號控制,操作更便捷,小體積設(shè)計更易集成。

超聲諧振驅(qū)動原理的直線與360°旋轉(zhuǎn)壓電馬達(dá)!

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