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白光干涉儀

白光干涉儀的白光干涉法是一種利用干涉原理測(cè)量光程差和測(cè)量有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。若兩個(gè)相干光之間的光程差異改變，干涉條紋的運(yùn)動(dòng)將十分敏感，相干光的光程變化是由于相干光經(jīng)過(guò)的幾何距離或介質(zhì)折射率的變化而引起的。其它物理量可以通過(guò)改變干涉條紋的運(yùn)動(dòng)來(lái)測(cè)量。每條條紋運(yùn)動(dòng)的間隔都會(huì)改變一個(gè)波長(zhǎng)(~10-7米)，因此干涉儀用光程差測(cè)量單位來(lái)測(cè)量光程差，其測(cè)量精度是其它測(cè)量方法的。

主要功能是：觀測(cè)、分析和應(yīng)用白光干涉。

白光干涉儀特點(diǎn)：

1.無(wú)接觸測(cè)量，避免物體損傷。

2.三維表面測(cè)量：表面高度在1到200微米之間。

3.多角度鏡頭：快速切換物鏡。

4.納米分辨率：垂直分辨率可以達(dá)到0.1納米。

5.高速度數(shù)字信號(hào)處理器：測(cè)量結(jié)果只需要幾秒。

6.掃描器：閉環(huán)控制系統(tǒng)。

7：氣動(dòng)裝置，抗震，耐壓。

8.測(cè)量軟件：基于Windows操作系統(tǒng)的用戶界面，操作簡(jiǎn)便、快捷。

白光干涉儀應(yīng)用范圍：

1.首先是半導(dǎo)體芯片。

2.LCD產(chǎn)品(CS、LGP、BIU)

3.微電子機(jī)械系統(tǒng)

4.是纖維產(chǎn)品。

5.數(shù)據(jù)儲(chǔ)存(HDD,DVD,CD)

6.研究數(shù)據(jù)。

7.表面精密加工。

8.生物醫(yī)學(xué)工程。