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HYDAC賀德克壓力傳感器HDA8400是利用單晶硅的壓阻效應而構成的。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。當壓力發(fā)生變化時,單晶硅產(chǎn)生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產(chǎn)生與被側壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應的電壓輸出信號。
賀德克壓力傳感器的分類:
多傳感器信息融合技術的基本原理就像人的大腦綜合處理信息的過程一樣,將各種傳感器進行多層次。多空間的信息互補和優(yōu)化組合處
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