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蔡司場發(fā)射掃描電鏡的日常維護(hù)

　　蔡司掃描電鏡是價(jià)格昂貴、精密復(fù)雜的大型儀器，因此,不但要求實(shí)驗(yàn)室管理員能夠規(guī)范的操作儀器，更需要管理員能對其進(jìn)行精細(xì)的日常維護(hù)[12-15],以確保機(jī)器處于正常的工作狀態(tài)。以下介紹了ZEISS Sigma 500熱場發(fā)射掃描電鏡的日常維護(hù)情況。

　　1電鏡室維護(hù)

　　做好日常清潔工作,保持電鏡室整潔、無塵;利用空調(diào)和除濕機(jī)等外部手段調(diào)控室內(nèi)溫度和濕度環(huán)境,使室內(nèi)溫度處于20士5C之間,濕度保持在60%以下,以防掃描電鏡各部件損壞。定時(shí)檢查氮?dú)馄繗饬块_關(guān)是否打開,保證出口壓力指針處于0.3~0.4MPa之間。

　　2真空系統(tǒng)維護(hù)

　　掃描電子顯微鏡屬于高真空系統(tǒng)的儀器。場發(fā)射掃描電鏡需長期保持開機(jī)狀態(tài)以確保電鏡具有優(yōu)良的真空值:電鏡的系統(tǒng)真空( System vacu-um)-般要求在10~'mbar以上,電子槍真空(Gunvacuum)- .般要求在10-9 mbar以上。如果發(fā)生停電或維修等特殊情況,來電后應(yīng)盡快開機(jī)，穩(wěn)定后檢查系統(tǒng)真空和電子槍真空是否在工作范圍內(nèi)。

　　若停電時(shí)間過長造成真空度下降過多，則需進(jìn)行烘烤操作(- -般需要烘10h,晾4h)。

　　3配件維護(hù)

　　定時(shí)檢查機(jī)械泵的油液面是否在安全線以上。若油液面在安全線以下或泵油顏色變深,則應(yīng)立即添加或更換泵油;每半年更換一次密封圈，防止因密封圈老化影響抽真空的效果。

　　定期清洗樣品臺、送樣桿以及離子濺射儀樣品室等易受污染的部件，以防受到灰塵等雜質(zhì)的污染而影響真空效果。清洗時(shí)可使用防靜電無塵布蘸取酒精進(jìn)行擦拭。

　　定期檢查水冷機(jī)循環(huán)水,一般每學(xué)期換一次循環(huán)水。若發(fā)現(xiàn)水位低于警戒線,應(yīng)立刻添加去離子水;若發(fā)現(xiàn)循環(huán)水混濁變質(zhì)應(yīng)立刻更換，防止因循環(huán)系統(tǒng)堵塞和結(jié)垢造成水循環(huán)系統(tǒng)工作效率降低。

　　更換時(shí)需先關(guān)機(jī),清洗水箱后再加去離子水,并倒人半瓶抑菌劑,以防藻類和細(xì)菌生長。