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芯明天壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)
型號(hào) | XD505.T0S |
運(yùn)動(dòng)自由度 | θx、θy |
傳感器 | SGS |
標(biāo)稱偏擺角度 (0~120V) | 0.28mrad/軸 |
偏擺角度 (0~150V) | 0.35mrad/軸 |
分辨率 | 0.01μrad |
空載諧振頻率 | 4.6kHz/軸 |
帶載諧振頻率@5kg | θx 0.4kHz/θy 0.32kHz |
階躍時(shí)間 | 50ms |
承載能力 | 20kg |
靜電容量 | 14.4μF |
材質(zhì) | 鋼、鋁 |
重量(含線) | 2100g |
配套控制器
1.顯微成像
2.激光合束
3.光束掃描
4.空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng)
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