兩個物體表面相互接觸即會產生相互作用力,研究具有相對運動的相互作用表面間的摩擦、潤滑與磨損及其三者之間關系即為摩擦學,目前摩擦學已涵蓋了化學機械拋光、生物摩擦、流體摩擦等多個細分研究方向,其研究的數值量級也涵蓋了亞納米到百微米的區(qū)間。摩擦本身是一種能量損耗現象,然而得到合理地利用也能產生巨大的正面效益,因此,準確地測定磨損量并進行精確的控制,是摩擦學研究中的一個重難點。
作為一家專業(yè)的微納3D形貌檢測儀器廠商,中圖儀器的SuperView系列光學3D表面輪廓儀已在國內各**高校從事化學機械拋光課題研究的教授群體中得到廣泛應用,因樣件多為超光滑拋光表面,采用光學3D表面輪廓儀較為合適,其中較為關鍵的粗糙度Sa和Ra等參數,能夠確保0.1nm的精度。而針對磨損區(qū)域較大、坡度也較為陡峭的生物摩擦和流體摩擦領域,采用中圖VT6000系列共聚焦顯微鏡則更加匹配,其遠勝于光學3D表面輪廓儀的大角度測量能力和超景深觀察功能,能夠輕松勝任磨損較為嚴重的表面形貌檢測,從而幫助研究人員更加精準的掌握磨損量評價數據。
圖.磨損形貌
圖.磨損體積
圖.流體摩擦表面形貌的截面輪廓
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