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中國臺灣日揚APC蝶閥使用淺析

來源:深圳市科銳詩汀科技有限公司   2022年10月24日 16:15  

中國臺灣日揚APC蝶閥使用淺析

 

中國臺灣日揚(Htc)自動壓力控制APC蝶閥,是整合真空腔體壓強反饋與馬達控制技術(shù)的真空閥門,可以快速調(diào)節(jié)真空腔體制程壓力,*隔絕真空側(cè)和大氣側(cè),APC蝶閥具有外形尺寸小、使用壽命長、易維修等特點,搭配HtcAPC軟件,可以簡單快速地設(shè)定并監(jiān)控制程壓力。

APC蝶閥,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電產(chǎn)業(yè)、太陽能產(chǎn)業(yè)、CVD制程等行業(yè),安裝在真空泵組與真空制程腔室之間,通過真空計反饋的電壓值控制蝶閥密封板開度大小,從而達到調(diào)節(jié)腔室壓力的目的。

本次實際使用的蝶閥型號是ISO63BFVC/RS485,通過自帶的軟件,可以進行如下功能的設(shè)定:閥門位置、真空壓力、目標(biāo)壓力、JOG+OPEN全開、CLOSE全閉、JOG-、HOLD(馬達鎖定,所有命令無效)等。

真空計的設(shè)定,重新設(shè)定壓力范圍(例如講0.1Torr改為1Torr)后,要關(guān)掉軟件,再重新打開軟件,更改設(shè)定才會有效。對應(yīng)真空計0-10V的設(shè)定壓力值,具有線性特性。

馬達的PID調(diào)節(jié),將I=0.1,D=0,調(diào)整P參數(shù)有1增加到馬達有震動之后將該值除以2,則為P之設(shè)定值。

使用RS485接口時,兩次訊息之間必須間隔7個字節(jié)以上的時間。

整個過程,調(diào)試方便順利,控制精度高、反應(yīng)迅速,整個工況讓客戶非常滿意!

 

深圳市科銳詩汀科技有限公司,集中國臺灣日揚(Htc)真空閥門、真空腔體、真空管件、英??担?/span>Inficon)真空計、檢漏儀、晶振片、安捷倫(Agilent)真空泵于一體的真空系列產(chǎn)品提供商,竭誠為真空行業(yè)提供高質(zhì)量的產(chǎn)品和服務(wù)!

作者:深圳市科銳詩汀科技有限公司銷售部

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