EDXRF測厚儀可用于檢測多層的成分及厚度,除了計算單層物質的成分分析還要去計算多層成分及厚度,同時會遇到微小的樣品位置、復雜的樣品的形狀(改變形狀再測試厚度會變化)、上下層有相同元素等等檢測難題,所以它比其它EDXRF應用更加復雜,這也是為什么EDXRF做ROHS重金屬、合金分析、貴金屬檢測等等的廠家很多,做測厚儀的很少、做得很好的比較少的原因。那測厚儀應該如何劃分呢?跟著測厚儀廠家一六儀器來了解一下吧。
測厚儀異形樣品檢測區(qū)分:
有對焦無變焦:只能測試平面樣品或者固定凹槽深度的異形件。
有變焦:能測試平面樣品及0-90mm凹槽落差異形樣品。
有對焦有變焦:能快速測試平面樣品,以及凹槽深度0-90mm落差的各種異形面,凹槽件。
測厚儀測量面積參數(shù)劃分:
普通手持式測厚儀:常見的手持式測厚儀檢測直徑是5mm;
常規(guī)X-RAY測厚儀:常規(guī)的X-RAY測厚儀檢測直徑是0.5 mm;
專業(yè)級X-RAY測厚儀:專業(yè)級的X-RAY測厚儀可小到0.05 m㎡;
毛細孔百萬級測厚儀:毛細孔聚焦配置的X-RAY測厚儀可小到0.02mm(價格近百萬);
測厚儀測量涂鍍層種類(算法)
第1代:經驗系數(shù)法EC
需要選用大量標樣來校正元素之間的吸收增強效應,樣品成分越復雜,所需的標樣越多。特點:在測試多層和多元復合層時比較困難,測量種類局限,加上需要多標樣來校正,應用成本高。
第2代:基本參數(shù)法FP
主流計算方法,一般需要配合標樣進行計算。
特點:無法測試重復鍍層和非金屬輕金屬鍍層。
第3代:
多元迭代法EFP算法
隨著計算機運算能力提升,一六儀器在多種算法的基礎上,通過計算元素的一次、二次、靶材熒光,吸收增強效應和散射背景等多元迭代開發(fā)出EFP核心算法。優(yōu)點:只需要少量的標樣來校正儀器因子,可測試重復鍍層、非金屬、輕金屬、多層多元素以及有機物層的厚度及成分含量。
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