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（1）直觀檢查：首先檢查氣相色譜儀系統(tǒng)是否有明顯的漏氣聲。在氣相色譜儀系統(tǒng)氣路有較大的泄漏發(fā)生時(shí)，很可能導(dǎo)致流量調(diào)不上去。如果聽不到漏氣聲則轉(zhuǎn)入（3）進(jìn)行。
（2）查漏：聽到有漏氣聲之后，可依照聲音發(fā)出的方向而逐步定位。此時(shí)可利用皂液的涂抹進(jìn)一步確定漏氣的發(fā)生處。找到原因后及時(shí)堵漏。
（3）柱前壓觀察：觀察氣相色譜儀柱前壓指示表的數(shù)值大小，可迅速判斷是氣源引起的故障，還是氣相色譜儀內(nèi)部氣路堵塞及損傷造成的。如果是柱前壓太低（精確地說是比正常流量操作時(shí)的預(yù)定壓力值低），則說明氣源需要檢查；如果柱前壓正常則需要檢查儀器的內(nèi)部氣路。
（4）鋼瓶高壓檢查：打開氣相色譜儀鋼瓶閥后，觀察高壓表指示，壓力應(yīng)在1~15MPa之間。如果壓力在1MPa以下，停用該鋼瓶，換氣；如壓力值在合適的范圍內(nèi)，說明鋼瓶壓力正常。
（5）減壓閥上低壓輸出檢查：調(diào)節(jié)減壓閥看鋼瓶上低壓表指示能否調(diào)到0.25~0.6MPa之間。如果正常，可懷疑氣路過濾接頭有堵塞或者是氣相色譜儀上的穩(wěn)定閥有問題，此時(shí)應(yīng)按照（6）來進(jìn)行；如低壓值不正常，則說明減壓閥有問題，需進(jìn)行（7）的修理。
（6）過濾器堵塞及穩(wěn)壓閥檢查：將過濾器出口到氣相色譜儀氣源入口處的接頭緩緩旋開，觀察是否有較強(qiáng)的氣流從接頭處跑出。如有，則說明過濾器不堵塞，穩(wěn)壓閥可能有問題。在確定穩(wěn)壓閥不出氣后，可進(jìn)行閥拆卸與清洗，這可能是穩(wěn)壓閥內(nèi)閥針與閥座間堵塞所致。如清洗后閥仍不能正常工作，換一個(gè)新閥；在上面試驗(yàn)中若無較強(qiáng)氣流從旋開的接頭中流出，需要檢查氣相色譜儀過濾器入口前后可能堵塞之處；當(dāng)然中間管線的堵塞也是可能的，但發(fā)生率甚小。

（7）減壓閥修理：在了解氣相色譜儀減壓閥的結(jié)構(gòu)之后，可拆卸修理減壓閥。由于該減壓閥入口一側(cè)有高壓，因此如理經(jīng)驗(yàn)不要盲目拆卸。有條件的，建議換用新閥；換閥時(shí)必須注意到，氫氣表或氧氣表應(yīng)與其它氣源表所用減壓閥分開使用，減壓閥上應(yīng)標(biāo)明其專用的氣源名稱。
（8）停用，換氣：在鋼瓶的壓力太小時(shí)，應(yīng)立即停用、換新瓶或充氣。在過小的壓力下，不但氣源輸出不穩(wěn)，而且氣源中雜質(zhì)濃度將明顯增大，這對(duì)高靈敏度的分析是特別不利的。另一個(gè)必須要注意的問題，是鋼瓶中的余氣，特別是氫氣鋼瓶的余氣不能隨便排放。
（9）拆下柱入口氣路：將氣相色譜儀柱子入口處氣接頭拆下，觀察流量計(jì)中的轉(zhuǎn)子是否能升到最上端。如果能升到最上端，說明柱前氣路正常，轉(zhuǎn)入（10）作進(jìn)一步檢查；如果轉(zhuǎn)子達(dá)不到最上端說明氣相色譜儀柱前氣路有堵塞，需進(jìn)行（13）檢查。
（10）拆下柱出端：將氣相色譜儀柱子入口接回原氣路中后，再將柱出口側(cè)接頭拆下，此時(shí)觀察流量計(jì)中的轉(zhuǎn)子能否調(diào)到預(yù)定值。如果可以，將判斷氣相色譜儀柱后管路及檢測器有堵塞，需按（11）進(jìn)行處理；如果轉(zhuǎn)子仍調(diào)不上來，則可以認(rèn)為柱填充過緊，需按（12）進(jìn)行。
（11）堵塞檢查與排除：在判斷為柱后管路或氣相色譜儀檢測器堵塞時(shí)應(yīng)進(jìn)行排隊(duì)和清洗。
（12）柱填充物太緊：氣相色譜儀柱填充過緊的主要原因是載體目數(shù)太大，造成過大的氣阻所引起。在適當(dāng)采用目數(shù)小一些的載體或減短色譜柱的長度后可以使流量上調(diào)到預(yù)定值。
（13）拆下流量計(jì)出口氣接頭：將氣相色譜儀轉(zhuǎn)子流量計(jì)出口端氣路旋開后，觀察轉(zhuǎn)子能否升到。如果可以，則判定進(jìn)樣、汽化器氣路堵塞，按（14）處理；如果轉(zhuǎn)子仍不能升到，可認(rèn)為流量閥損壞或流量計(jì)入口管路有堵塞，此時(shí)按（15）進(jìn)行。
（14）進(jìn)樣口堵塞：氣相色譜儀進(jìn)樣器的堵塞可按注射器的清洗步驟進(jìn)行。
（15）氣相色譜儀流量閥與管路堵塞：用分段試堵將很快判定是否流量管路產(chǎn)生了堵塞。如有，按氣路管路的清洗進(jìn)行；如流量計(jì)前管路正常，可拆卸流量控制閥進(jìn)行清洗。